ВЛИЯНИЕ ТОПОЛОГИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ НА ДИАПАЗОН ПЕРЕСТРОЙКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИ УПРАВЛЯЕМЫХ МИКРОПОЛОСКОВЫХ РЕЗОНАТОРОВ Journal title: Електроніка та зв'язок Authors: Artem Serhiyovych Chernov, Victor Anatolitovych Kazmirenko, Vasiliovich Prokopenko, Guy A. E. Vanden... Subject(s):
