ОСОБЛИВОСТІ ПРОВЕДЕННЯ ДОСЛІДЖЕНЬ МІКРОГЕОМЕТРІЇ ТА ПОВЕРХНЕВИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ МАТЕРІАЛІВ ДЛЯ МІКРО- І НАНОЕЛЕКТРОНІКИ

Journal title: Вісник Черкаського державного технологічного університету

Authors: С. Петренко, О. Новаковський, В. Антонюк, Є. Скорина, Юлія Бондаренко

Subject(s):

Article processing charges

Type

License

Index