Изменение свойств поверхности деталей на различных этапах формирования вакуумных ионно-плазменных покрытий. Сообщение 2. Очистка в тлеющем разряде и при ионной бомбардировке поверхности. Свойства оксидов при технологическом нагреве Journal title: Открытые информационные и компьютерные интегрированные технологии Authors: Subject(s):
