ФУНКЦІОНАЛЬНА СТІЙКІСТЬ СИСТЕМИ КЕРУВАННЯ ГЕНЕРАТОРОМ ПЛАЗМИ З СЕКЦІОНОВАНИМИ КАТОДНИМИ ВУЗЛАМИ В РЕЖИМІ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО НАНЕСЕННЯ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ НАНОСТУКТУРОВАНИХ МАТЕРІАЛІВ Journal title: Science Review Authors: Сергій Миколайович Фірсов, Сергій Борисович Кочук, Марія Володимирівна Бреславець, Юлія Валентинівна... Subject(s):
