BEZPOŚREDNIE LASEROWE WYTWARZANIE STRUKTUR PERIODYCZNYCH METODĄ LITOGRAFII INTERFERENCYJNEJ

Abstract

W pracy przedstawiono metodę bezpośredniej, laserowej litografii interferencyjnej do modyfikacji przypowierzchniowej warstwy materiałów. Zmiana topografii oraz mikrostruktury powierzchni prowadzi do wielu korzystnych zmian właściwości materiału, poczynając od zmian typowo mechanicznych, takich jak zmiana współczynnika tarcia, po zmiany właściwości optycznych, magnetycznych i innych. W artykule opisano dwukanałowy impulsowy układ laserowy na krysztale Nd:YAG z Q-modulacją, generujący impulsy o czasie trwania 8-10 ns oraz energii 1,5 J w każdym kanale. Laser służył do naświetlania struktur interferencyjnych na powierzchni różnych materiałów. Ramiona dwukanałowego układu laserowego stanowiły jednocześnie interferometr Macha-Zehndera. Zaprezentowano również wybrane struktury periodyczne jedno- oraz dwuwymiarowe, wytworzone w warunkach impulsowego naświetlania powierzchni metali, półprzewodników, polimerów oraz tzw. warstw diamentopodobnych. We wnioskach przedyskutowano potencjalne obszary zastosowania technologii bezpośredniej, laserowej litografii interferencyjnej.<br/><br/>

Authors and Affiliations

Krzysztof Czyż, Antoni Rycyk, Marek Strzelec, Jan Marczak

Keywords

Related Articles

MASA NIERESOROWANA ORAZ NOWE KONCEPCJE TECHNOLOGICZNE W NAPĘDACH BEZPOŚREDNICH

W artykule omówiono wpływ masy nieresorowanej na bezpieczeństwo w czasie jazdy i obsługę urządzeń w pojeździe elektrycznym. Przedstawiono stan zaawansowanych prac oraz stopień wdrożenia modułów przeznaczonych do sterowan...

ECOLOGICAL MAGNETIC REFRIGERATORS

The magnetocaloric effect (MCE) is a thermodynamic process in which the temperature changes of a paramagnetic material are the effect of an external magnetic field changing in cycles. The refrigeration occurs in two stag...

MODELING AND SIMULATIONS OF A NON-LINEAR COIL

Solving rigid differential equations systems should be performed with the application of implicit or semi-explicit methods. As proven in the example given in this paper – the implicit RADAU IIA methods can be successfull...

AUTOMATIC DETECTION OF FLAME RESISTANCE IN THE STUDIES ON THE ARC DIELECTRIC

The determination of the Comparative Tracking Index (CTI) according to PN-EN 60112:2003 standard is a time-consuming process, which can last few hours. Automating of the test process in terms of conditions control, allow...

WŁAŚCIWOŚCI MAGNETYCZNE WYBRANYCH NANOKOMPOZYTÓW

W pracy scharakteryzowano właściwości magnetyczne rdzeni z nowoczesnych nanokompozytów. Aproksymowano zależność energii traconej podczas cyklu przemagnesowania w funkcji częstotliwości. Energia związana z prądami wirowym...

Download PDF file
  • EP ID EP68456
  • DOI -
  • Views 74
  • Downloads 0

How To Cite

Krzysztof Czyż, Antoni Rycyk, Marek Strzelec, Jan Marczak (2014). BEZPOŚREDNIE LASEROWE WYTWARZANIE STRUKTUR PERIODYCZNYCH METODĄ LITOGRAFII INTERFERENCYJNEJ. Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki, 61(266), 99-113. https://europub.co.uk/articles/-A-68456