ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ
Journal Title: Вісник Черкаського державного технологічного університету - Year 2018, Vol 1, Issue 3
Abstract
Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.
Authors and Affiliations
К. Базіло, С. Білокінь, М. Бондаренко, В. Медяник
Keywords
Related Articles
- EP ID EP511841
- DOI 10.24025/2306-4412.3.2018.162704
- Views 121
- Downloads 0
Встановлення та оцінка невизначеності результату вимірювання лінійного розміру безконтактним методом
В роботі показано необхідність встановлення достовірності результатів вимірювань на основі концепції «оцінювання невизначеності вимірювань» оскільки методики розрахунку невизначеності вже запроваджені в міжнародній практ...
ПРОГРАМУВАННЯ ЗАСОБІВ ОБРОБКИ ІНФОРМАЦІЇ У ХМАРНИХ СХОВИЩАХ НА ОСНОВІ ОПЕРАЦІЙНОЇ СИСТЕМИ ANDROID
Стаття присвячена створенню програмного продукту для статистичного аналізу та дослідженню ефективності обробки великих об’ємів даних на прикладі використання виділеного і хмарного серверів, який призначений для оцінюванн...
МОДЕЛЮВАННЯ ВПЛИВУ АМПЛІТУДНО-ЧАСОВИХ ПАРАМЕТРІВ ЕЛЕКТРИЧНИХ ІМПУЛЬСІВ НА ПРОЦЕСИ АНОДНОГО РОЗЧИНЕННЯ ПРИ ЕЛЕКТРОХІМІЧНІЙ ОБРОБЦІ ДРОТЯНИМ ЕЛЕКТРОДОМ
Комбінована технологія послідовного використання електроерозійної та електрохімічної обробки дротяним електродом дозволяє отримувати якісну поверхню і формувати металеві компоненти з високою точністю, незалежно від міцно...
МЕТАЛІЗАЦІЯ ТЕХНІЧНОГО СКЛА З ВИКОРИСТАННЯМ ЕЛЕКТРОННО-ПРОМЕНЕВОГО МЕТОДУ МІКРООБРОБКИ ПОВЕРХНІ
Представлені дані з електронно-променевої обробки для покращення адгезійної міцності металевих плівок. В основі лежить спрямована зміна фізико-хімічних властивостей приповер-хневого шару скла шляхом обробки стрічковим ел...
КОРЕКЦІЯ ТЕМПЕРАТУРНОГО ВПЛИВУ НА П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИЙ АКСЕЛЕРОМЕТР
У статті розглянуто можливість компенсації неінформативної складової у вимірюваному сигналі, отриманому за допомогою п'єзоелектричного акселерометра при вимірюванні вібраційного прискорення. Ця неінформативна складова у...