ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ
Journal Title: Вісник Черкаського державного технологічного університету - Year 2018, Vol 1, Issue 3
Abstract
Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.
Authors and Affiliations
К. Базіло, С. Білокінь, М. Бондаренко, В. Медяник
Keywords
Related Articles
- EP ID EP511841
- DOI 10.24025/2306-4412.3.2018.162704
- Views 131
- Downloads 0
Техніко-економічна ефективність експлуатації силових трансформаторів типу тмн, тмг і тм
У статті розроблено методику оцінювання техніко-економічної ефективності експлуатації силових трансформаторів типу ТМН, ТМГ і ТМ з використанням дифузійно-немонотонного закону розподілу їх відмов з урахуванням помилок пе...
Аналіз потенційних характеристик квадратичного алгоритму вимірювання амплітуди гармонічного сигналу з флуктуючою частотою при когерентному прийомі
В роботі досліджуються потенційні точнісні характеристики лінійного та квадратичного алгоритмів вимірювання амплітуди гармонічного сигналу з флуктуючою частотою при когерентному прийомі, за умови впливу асиметрично-ексце...
ВИЗНАЧЕННЯ ДОПУСТИМИХ РЕЖИМІВ НАГРІВУ ПІРОТЕХНІЧНИХ СУМІШЕЙ ПРИ ЇХ ЕКСПЛУАТАЦІЇ
На стадії проектування піротехнічних сумішей необхідно прогнозувати допустимі ре-жимів їх нагріву, перевищення яких призводить до займання зарядів сумішей під металевими оболонками виробів, що призводить до пожежовибухон...
Свойства вулканизатов из композиций, наполненных продуктами химической деструкции емкостной тары из полиэтилентерефталата
Показана возможность использования порошкообразного продукта химической деструкции методом аммонолиза использованной емкостной тары из полиэтилентерефталата (ПЭТ-бутылок) в качестве наполнителя композиций для покрытий на...
Лідарний комплекс для моніторингу метеорологічного стану атмосфери
В роботі розроблено лідарний комплекс для дистанційного зондування атмосфери, що є складовою частиною супутникової лазерної локаційної станції Київ-Голосіїв. Синтезована установка дозволяє проводити панорамне зондування...