ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ
Journal Title: Вісник Черкаського державного технологічного університету - Year 2018, Vol 1, Issue 3
Abstract
Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.
Authors and Affiliations
К. Базіло, С. Білокінь, М. Бондаренко, В. Медяник
Keywords
Related Articles
- EP ID EP511841
- DOI 10.24025/2306-4412.3.2018.162704
- Views 116
- Downloads 0
MATRIX METHOD OF RECEIVING THE FULL COMPOSITION OF THE GROUPS OF RELATIVITY OF BOOLEAN FUNCTIONS
The article describes a matrix method for obtaining the full composition of the groups of relativity of Boolean functions on the basis of a universal permutation matrix. This method makes it possible to obtain the full c...
Оптимальный синтез структур электромагнитных измерительных преобразователей
Электромагнитные измерительные преобразователи в обязательном порядке содержат в своeм составе полезадающие элементы конструкции, к числу которых относятся катушки с постоянным или переменным током, постоянные магниты, ф...
АНАЛІТИЧНА МОДЕЛЬ ВИМІРЮВАННЯ ВІДСТАНІ ЗА ДОПОМОГОЮ СЕНСОРНИХ МЕРЕЖ ТА ОЦІНКА ПОХИБКИ ВИМІРЮВАННЯ
В даній статті досліджується задача визначення відстані між прийомопередавачами хаотичних радіоімпульсів. розрахунок відстані виробляється за часом поширення сигналу в ефірі. Оцінюється точність визначення між прийомопер...
ВДОСКОНАЛЕННЯ МЕТОДУ КОМПРЕСІЇ ДАНИХ НА ОСНОВІ КОДУ ФІБОНАЧЧІ
У статті розглядається ефективність компресії даних на основі коду Фібоначчі. Досліджується проблема використання коду змінної довжини для стискання даних на прикладі кодування текстового повідомлення. Визначено недоліки...
Роль використання структури декомпозиції робіт в управлінні змістом будівельних проектів
У статті розглянуто та запропоновано принципи побудови структури декомпозиції ро-біт (WBS) в управлінні змістом будівельних проектів. Було розкрито переваги використання WBS та представлено IT-інструменти для побудови WB...