ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ

Abstract

Нині провідні виробники радіоелектронних компонентів серійно випускають досить ве-ликий перелік елементів, до складу яких включені різні мікроелектромеханічні структури. Основна перевага використання у вимірювальних приладах елементів з п'єзокерамічних матеріалів обумовлюється їх особливою структурою, яка дозволяє реалізувати в одному такому елементі принципово різні схеми, наприклад, для одночасного вимірювання температури, тиску і вологості. Метою роботи є вивчення методом атомно-силової мікроскопії прихованих мікродефектів і мікронерівностей поверхонь п'єзоелектричних перетворювачів.

Authors and Affiliations

К. Базіло, С. Білокінь, М. Бондаренко, В. Медяник

Keywords

Related Articles

Функции и структура системы комплексного контроля вычислительных процессов

Рассмотрены вопросы синтеза структуры системы комплексного контроля вычислительных процессов. Определены условия исправного состояния вычислительного процесса. Для интеллектуализации контроля вычислительного процесса пре...

ТЕХНОЛОГІЯ ЕКСПЕРТНОГО ВИЗНАЧЕННЯ РІВНЯ ТЕХНОГЕННОЇ БЕЗПЕКИ ЖИТЛА У БУДИНКАХ ПІДВИЩЕНОЇ ПОВЕРХОВОСТІ

У статті розглядається задача визначення рівня техногенної безпеки житла у будинках підвищеної поверховості. Запропоновано для визначення пріоритетності факторів, що впливають на безпеку житла та є аргументами відповідно...

Екологічна компетентність студентів технологічного університету: виклик часу та реальний стан

В статті розкрито сутність компетентнісного підходу в процесі формування професійних компетенцій майбутніх фахівців в аспекті їх екологічної компетенції. Проведено аналіз понять «компетенція», «компетентність», «екологіч...

МОДЕЛЮВАННЯ ОЦІНКИ “RISK MANAGEMENT” В СИСТЕМІ УПРАВЛІННЯ БУДІВЕЛЬНИМИ ПРОЕКТАМИ

Окреслено базові процеси, методи та інструменти управління ризиками проектів в сис-темі знань Guide to the Project Management Body of Knowledge. Проаналізовано теоретико-практичні підходи до управління ризиковими подіями...

ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ НАВАНТАЖЕННЯ ТА РОЗМІРІВ ЕЛЕКТРОДІВ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНОГО ДИСКА НА ЙОГО АМПЛІТУДНО-ЧАСТОТНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ

П'єзокераміка завдяки своїм унікальним властивостям має застосування в різних галузях техніки і технології. П'єзоелектричні диски з частковим електродуванням однієї або двох поверхонь досить часто використовуються для ст...

Download PDF file
  • EP ID EP511841
  • DOI 10.24025/2306-4412.3.2018.162704
  • Views 137
  • Downloads 0

How To Cite

К. Базіло, С. Білокінь, М. Бондаренко, В. Медяник (2018). ДОСЛІДЖЕННЯ МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ СТРУКТУР МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЇ МІКРОСКОПІЇ. Вісник Черкаського державного технологічного університету, 1(3), 21-26. https://europub.co.uk/articles/-A-511841