FRACTAL GEOMETRIES IN LATERAL FLUX CAPACITOR DESIGN – EXPERIMENTAL RESULTS
Journal Title: Informatyka Automatyka Pomiary w Gospodarce i Ochronie Środowiska - Year 2015, Vol 5, Issue 2
Abstract
Capacitance density is increased when lateral flux structures are used in CMOS technologies compared to classic parallel-palate capacitors. Lateral-flux capacitors where designed based on three different fractal geometries. Capacitors are designed with and without special MMC metal layer available in some CMOS technologies for capacitor design. For theoretical analysis verification a special ASIC has been designed and fabricated in UMC 0.18um technology. Presented result are obtained by measurement of 5 ICs. Some capacitor structures have much higher capacitance density than classic parallel-platescapacitor without MMC layer. Few presented structures have higher capacitance density than parallel-plate capacitor made with MMC layer. Capacitors have small process parameters spread.
Authors and Affiliations
Piotr Kocanda, Andrzej Kos, Adam Gołda
Keywords
Related Articles
- EP ID EP73087
- DOI 10.5604/20830157.1159318
- Views 118
- Downloads 0
TRÓJWYMIAROWA ANALIZA NUMERYCZNA ELEKTROFILTRU TYPU PRZEWÓD-CYLINDER DO WYŁAPYWANIA BARDZO DROBNYCH CZĄSTEK ZE SPALIN SILNIKA DIESLA
Jedna sekcja elektrofiltru została zamodelowana numerycznie w celu wyznaczenia sprawności wyłapywania cząstek ze spalin silnika Diesla. Elektrofiltr składa się z uziemionej cylindrycznej rury i cienkiej elektrody zasilan...
Zastosowanie metody dynamiki molekularnej do modelowania transferu masy na granicy bimetalu Ni-Al
Jednym z podstawowych zagadnień analizy procesu interakcji stopów dwuskładnikowych jest badanie procesu wymiany masy w obecności defektów punktowych: atomów międzywęzłowych i wakansów. Badania tego procesu w rzeczywisty...
OPTOELEKTRONICZNE SYSTEMY W ZASTOSOWANIACH DIAGNOSTYCZNYCH I POMIAROWYCH
W artykule dokonano krótkiego przeglądu optycznych metod diagnostyki procesów przemysłowych ze szczególnym uwzględnieniem procesu spalania pyłu węglowego oraz mieszanin z udziałem biomasy. Zaprezentowane rozwiązania są w...
SIMULATION OF LONG-LIVED PLASMA PROCESS, CREATED BY THE IMPULSE DISCHARGE IN DROPLET ENVIRONMENT
It was found that during the electric impulse discharge in droplet environment, created by ultrasound sputtering of water, the systems’ volume process had different observable properties in comparison with simple impulse...
WYBRANE PROBLEMY METROLOGICZNE IMPLIKOWANE STOSOWANIEM TECHNOLOGII LED W OŚWIETLENIU
Diody świecące dużej mocy zastępują klasyczne źródła światła właściwie we wszystkich możliwych aplikacjach oświetleniowych, co powoduje znaczne problemy w ocenie jakości oświetlenia. Zagadnienie to nie sprowadza się...