ГЕНЕРАЦІЯ НАДВИСОКОЧАСТОТНОЇ ПЛАЗМИ ЗА ДОПОМОГОЮ ЕВАНЕСЦЕНТНИХ ХВИЛЬ
Journal Title: Мікросистеми, Електроніка та Акустика - Year 2017, Vol 22, Issue 6
Abstract
У даній роботі проведено аналіз та порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі еванесцентних хвиль. У статті розглянуто три підходи, що забезпечують збудження еванесцентної хвилі: збудження за допомогою позамежного хвилеводу; еванесцентна хвиля, що збуджується за допомогою поверхневої хвилі; еванесцентна хвиля, що збуджується поблизу поверхні діелектрика за рахунок ефекту порушення повного внутрішнього відбиття. Представлено результати перших експериментів використання таких генераторів та визначені перспективи їх подальшого застосування для іонно-плазмової технології обробки великих підкладок. На основі проведеного дослідження висунуті пропозиції щодо актуальності майбутніх розробок у даному напрямку. Метою дослідження є проблема забезпечення зони однорідності оброблюваної поверхні твердого тіла великої площі (метри квадратні). Бібл. 13, рис. 6.
Authors and Affiliations
Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev
Keywords
Related Articles
- EP ID EP297569
- DOI 10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023
- Views 80
- Downloads 0
ПОЛІПШЕННЯ ПАРАМЕТРІВ РЕНТГЕНОТЕЛЕВІЗІЙНИХ СИСТЕМ НА ОСНОВІ ЕЛЕКТРОННИХ ПЕРЕТВОРЮВАЧІВ
Відзначені переваги плоскопанельних детекторів, які є основою перспективної цифрової рентгенотехніки, порівняно з рентгенівською плівкою, запам’ятовуючими пластинами комп’ютерної радіографії та електронно-оптичними трубк...
БЕЗКОНТАКТНИЙ МОНІТОРИНГ ПАРАМЕТРІВ ВЕНТИЛЯЦІЙНОЇ ФУНКЦІЇ ЛЕГЕНЬ ЗА ДОПОМОГОЮ МЕТОДУ ОПТИЧНОГО ПОТОКУ
В статті запропоновано метод, що дозволяє отримати розширений набір параметрів вентиляційної функції легень при безконтактному моніторингу за допомогою відеокамери, зокрема тривалості вдиху та видиху під час аналізу пото...
ОСОБЛИВОСТІ ФОТОЛЮМІНЕСЦЕНЦІЇ ТА СПЕКТРІВ ПРОПУСКАННЯ ТОНКИХ ШАРІВ ПОРИСТОГО КРЕМНІЮ НА ДІЕЛЕКТРИЧНИХ ОСНОВАХ
В роботі проведено дослідження спектрів пропускання і фотолюмінісценції шарів пористого кремнію отриманих хімічним травленням з тонких плівок кремнію на основах з полі кору та сапфіру. Показано що характер спектру поглин...
СУБ’ЄКТИВНЕ ОЦІНЮВАННЯ ЯКОСТІ ТА РОЗБІРЛИВОСТІ МОВНИХ СИГНАЛІВ, СПОТВОРЕНИХ СИНТЕЗОВАНИМИ ШУМАМИ
В даній роботі наведено результати оцінювання впливу стаціонарних та нестаціонарних синтезованих шумів на якість та розбірливість мовних сигналів. Для випадку стаціонарних шумів показано, що при малих відношеннях сигнал-...
ЗАСТОСУВАННЯ МЕТОДУ АКТИВНОЇ КОМПЕНСАЦІЇ ХРОМАТИЧНОЇ ДИСПЕРСІЇ ДЛЯ ПІДВИЩЕННЯ ПРОПУСКНОЇ ЗДАТНОСТІ ВОЛОКОННО-ОПТИЧНОГО ЛІНІЙНОГО ТРАКТУ
Запропоновано метод активної компенсації хроматичної дисперсії у волоконно-оптичному лінійному тракті. Метод основано на використанні особливостей динамічного розширення спектру ґенерованого оптичним передавачем імпульсу...