ГЕНЕРАЦІЯ НАДВИСОКОЧАСТОТНОЇ ПЛАЗМИ ЗА ДОПОМОГОЮ ЕВАНЕСЦЕНТНИХ ХВИЛЬ
Journal Title: Мікросистеми, Електроніка та Акустика - Year 2017, Vol 22, Issue 6
Abstract
У даній роботі проведено аналіз та порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі еванесцентних хвиль. У статті розглянуто три підходи, що забезпечують збудження еванесцентної хвилі: збудження за допомогою позамежного хвилеводу; еванесцентна хвиля, що збуджується за допомогою поверхневої хвилі; еванесцентна хвиля, що збуджується поблизу поверхні діелектрика за рахунок ефекту порушення повного внутрішнього відбиття. Представлено результати перших експериментів використання таких генераторів та визначені перспективи їх подальшого застосування для іонно-плазмової технології обробки великих підкладок. На основі проведеного дослідження висунуті пропозиції щодо актуальності майбутніх розробок у даному напрямку. Метою дослідження є проблема забезпечення зони однорідності оброблюваної поверхні твердого тіла великої площі (метри квадратні). Бібл. 13, рис. 6.
Authors and Affiliations
Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev
Keywords
Related Articles
- EP ID EP297569
- DOI 10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023
- Views 89
- Downloads 0
СТАБІЛІЗАЦІЯ ЯКОСТІ ТЕРМОГРАМ ШЛЯХОМ УСУНЕННЯ ТЕРМОРОЗФОКУСУВАННЯ
В даній статті розглянуто проблему розфокусування об’єктива термографа під дією впливу температури навколишнього середовища. Запропоновано усунення даної проблеми методом пасивної оптичної атермалізації. На основі розра...
Оцінка ефективності відбирання енергії від сонячної батареї
Проаналізовано умови, за яких від сонячної батареї (СБ), що працює на узгоджувальний імпульсний регулятор (ІР), буде відбиратись максимальний обсяг енергії. Виведено уточнену умову відбору максимальної енергії для випадк...
ЗАСТОСУВАННЯ МЕТОДУ АКТИВНОЇ КОМПЕНСАЦІЇ ХРОМАТИЧНОЇ ДИСПЕРСІЇ ДЛЯ ПІДВИЩЕННЯ ПРОПУСКНОЇ ЗДАТНОСТІ ВОЛОКОННО-ОПТИЧНОГО ЛІНІЙНОГО ТРАКТУ
Запропоновано метод активної компенсації хроматичної дисперсії у волоконно-оптичному лінійному тракті. Метод основано на використанні особливостей динамічного розширення спектру ґенерованого оптичним передавачем імпульсу...
МЕТОДЫ МАШИННОГО ОБУЧЕНИЯ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЯ ЗВУКОВ ЛЕГКИХ
В статье рассматриваются основные методы машинного обучения с целью применения их к задаче классификации звуков легких. На основе базы звуков легких был получен ряд параметров сигналов. Задачей исследования было провести...
ЗАСТОСУВАННЯ ГЕНЕТИЧНОГО АЛГОРИТМУ ДЛЯ АГЕНТНОГО МОДЕЛЮВАННЯ ПОВЕДІНКИ ОБ’ЄКТІВ ПРИ ВИХОДІ З ПАЛАЮЧОЇ КІМНАТИ
В статті розглянуте питання реалізації генетичного алгоритму для навчання й оптимізації нейронної мережі та її застосування для задач агентного моделювання людської поведінки. Запропоновано систему, що здійснює навчання...