ГЕНЕРАЦІЯ НАДВИСОКОЧАСТОТНОЇ ПЛАЗМИ ЗА ДОПОМОГОЮ ЕВАНЕСЦЕНТНИХ ХВИЛЬ
Journal Title: Мікросистеми, Електроніка та Акустика - Year 2017, Vol 22, Issue 6
Abstract
У даній роботі проведено аналіз та порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі еванесцентних хвиль. У статті розглянуто три підходи, що забезпечують збудження еванесцентної хвилі: збудження за допомогою позамежного хвилеводу; еванесцентна хвиля, що збуджується за допомогою поверхневої хвилі; еванесцентна хвиля, що збуджується поблизу поверхні діелектрика за рахунок ефекту порушення повного внутрішнього відбиття. Представлено результати перших експериментів використання таких генераторів та визначені перспективи їх подальшого застосування для іонно-плазмової технології обробки великих підкладок. На основі проведеного дослідження висунуті пропозиції щодо актуальності майбутніх розробок у даному напрямку. Метою дослідження є проблема забезпечення зони однорідності оброблюваної поверхні твердого тіла великої площі (метри квадратні). Бібл. 13, рис. 6.
Authors and Affiliations
Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev
Keywords
Related Articles
- EP ID EP297569
- DOI 10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023
- Views 94
- Downloads 0
СУБ’ЄКТИВНЕ ОЦІНЮВАННЯ ЯКОСТІ ТА РОЗБІРЛИВОСТІ МОВНИХ СИГНАЛІВ, СПОТВОРЕНИХ СИНТЕЗОВАНИМИ ШУМАМИ
В даній роботі наведено результати оцінювання впливу стаціонарних та нестаціонарних синтезованих шумів на якість та розбірливість мовних сигналів. Для випадку стаціонарних шумів показано, що при малих відношеннях сигнал-...
РЕФЕРЕНСНАЯ АРХИТЕКТУРА СИСТЕМ ДЛЯ АНАЛИЗА БИОМЕДИЦИНСКИХ ДАННЫХ
В данной работе были исследованы проблемы разработки универсальных и адаптивных систем анализа данных. На примере построения биомедицинских систем мониторинга состояния здоровья человека были выделены основные особенност...
ОПТИМІЗАЦІЯ НЕЙРОННОЇ МЕРЕЖІ АЛГОРИТМУ DEEPSTACK ДЛЯ ГРИ У LEDUC HOLD’EM
В статті розглянуте питання реалізації нейронної мережі та підбору її структури, яка використовується в алгоритмі DeepStack. Наведений детальний опис алгоритму та принцип його роботи. Розглянутий алгоритм використовуєтьс...
МЕХАНИЧЕСКИЕ ПОЛЯ ЦИЛИНДРИЧЕСКОГО ПЬЕЗОКЕРАМИЧЕСКОГО ИЗЛУЧАТЕЛЯ СИЛОВОЙ КОНСТРУКЦИИ В ПРИСУТСТВИИ АКУСТИЧЕСКОГО ЭКРАНА
В статье произведен численный анализ частотных и угловых зависимостей механических полей поверхности цилиндрического пьезокерамического излучателя с окружной поляризацией силовой конструкции в присутствии акустически мяг...
МЕТОДИ І ТЕХНОЛОГІЇ ЗАХИСТУ КОМП’ЮТЕРНИХ МЕРЕЖ (ФІЗИЧНИЙ ТА КАНАЛЬНИЙ РІВНІ)
Розглянуто найбільш поширені рішення, які підтримуються виробниками обладнання для комп’ютерних мереж (комутатори 2-го та 3-го рівнів, маршрутизатори), реалізовані у операційних системах та протоколах і можуть бути викор...