ГЕНЕРАЦІЯ НАДВИСОКОЧАСТОТНОЇ ПЛАЗМИ ЗА ДОПОМОГОЮ ЕВАНЕСЦЕНТНИХ ХВИЛЬ
Journal Title: Мікросистеми, Електроніка та Акустика - Year 2017, Vol 22, Issue 6
Abstract
У даній роботі проведено аналіз та порівняння можливих конструктивних особливостей надвисокочастотних генераторів низькотемпературної плазми, які будуються на базі еванесцентних хвиль. У статті розглянуто три підходи, що забезпечують збудження еванесцентної хвилі: збудження за допомогою позамежного хвилеводу; еванесцентна хвиля, що збуджується за допомогою поверхневої хвилі; еванесцентна хвиля, що збуджується поблизу поверхні діелектрика за рахунок ефекту порушення повного внутрішнього відбиття. Представлено результати перших експериментів використання таких генераторів та визначені перспективи їх подальшого застосування для іонно-плазмової технології обробки великих підкладок. На основі проведеного дослідження висунуті пропозиції щодо актуальності майбутніх розробок у даному напрямку. Метою дослідження є проблема забезпечення зони однорідності оброблюваної поверхні твердого тіла великої площі (метри квадратні). Бібл. 13, рис. 6.
Authors and Affiliations
Volodymyr Volodymyrovych Perevertailo, Anatoly Ivanovitch Kuzmichev
Keywords
Related Articles
- EP ID EP297569
- DOI 10.20535/2523-4455.2017.22.6.105023
- Views 93
- Downloads 0
ЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНА ЧУТЛИВІСТЬ КРУГЛИХ ТА КІЛЬЦЕВИХ П'ЄЗОЕЛЕКТРИЧНИХ ТОНКИХ ПЛАСТИН ПРИ МЕХАНІЧНОМУ ЗБУРЕННІ
Досліджується реакція п’єзокерамічних осьових датчиків з чутливим елементом в формі круглих та кільцевих пластин на імпульсне механічне навантаження. Визначається електрорушійна сила п’єзокерамічних поляризованих по товщ...
Оцінка ефективності відбирання енергії від сонячної батареї
Проаналізовано умови, за яких від сонячної батареї (СБ), що працює на узгоджувальний імпульсний регулятор (ІР), буде відбиратись максимальний обсяг енергії. Виведено уточнену умову відбору максимальної енергії для випадк...
РЕГУЛЮВАЛЬНІ ХАРАКТЕРИСТИКИ ІМПУЛЬСНИХ РЕГУЛЯТОРІВ З УРАХУВАННЯМ ВНУТРІШНЬОГО ОПОРУ ДЖЕРЕЛА ЕЛЕКТРОЖИВЛЕННЯ
Проаналізовано особливості роботи імпульсних регуляторів від джерел постійної напруги та струму. Наведено схеми імпульсних регуляторів постійного струму, дуальні до схем імпульсних регуляторів постійної напруги. Розгляну...
ЗАСТОСУВАННЯ ГЕНЕТИЧНОГО АЛГОРИТМУ ДЛЯ АГЕНТНОГО МОДЕЛЮВАННЯ ПОВЕДІНКИ ОБ’ЄКТІВ ПРИ ВИХОДІ З ПАЛАЮЧОЇ КІМНАТИ
В статті розглянуте питання реалізації генетичного алгоритму для навчання й оптимізації нейронної мережі та її застосування для задач агентного моделювання людської поведінки. Запропоновано систему, що здійснює навчання...
РЕФЕРЕНСНАЯ АРХИТЕКТУРА СИСТЕМ ДЛЯ АНАЛИЗА БИОМЕДИЦИНСКИХ ДАННЫХ
В данной работе были исследованы проблемы разработки универсальных и адаптивных систем анализа данных. На примере построения биомедицинских систем мониторинга состояния здоровья человека были выделены основные особенност...