HIGH RATE DEPOSITION OF THIN FILM COMPOUNDS – MODELING OF REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING PROCESS
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2013, Vol 60, Issue 263
Abstract
Deposition of compound thin films with reactive magnetron sputtering method causes a lot of difficulties, of which the main ones are the instability of the process and decrease of the deposition rate. Computer simulations were performed using Berg’s model assumptions. Firstly, effect of basic process parameters on aluminum oxide deposition was examined, also theoretical characteristics of the deposition of Al[sub]2[/sub]O[sub]3[/sub], AlN, TiO[sub]2[/sub], TiN were compared. Next, the parameters for efficient deposition of titanium oxide were determined. Simulations were confirmed by the results of experimental work. The purpose of presented work was to define, with Berg’s model, mechanisms which enable deposition, in metallic mode of magnetron work, of oxides with properties near to stochiometric. Presented analysis results were compared to real process parameters observed during reactive sputtering . <br/><br/>
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak, Jarosław Paprocki
Keywords
Related Articles
- EP ID EP68427
- DOI -
- Views 95
- Downloads 0
ASSESSMENT OF TEXTILES BARRIER PROPERTIES AGAINST UV USING DIFFERENT BIOLOGICAL ACTION EFFECTIVENESS
The article presents proposition of four new textiles barrier factors against UV, which taking into account the following biological effectiveness: actinic, skin cancer, DNA damage and erythema. Results of 19 textile sam...
PRZEGLĄD TOPOLOGII PRZEKSZTAŁTNIKÓW WIELOPOZIOMOWYCH POD KĄTEM ZASTOSOWANIA W INTELIGENTNYM TRANSFORMATORZE
Tematem niniejszego artykułu jest przegląd topologii przekształtników energoelektronicznych AC-DC oraz DC-DC, które z powodzeniem można stosować w układach typu „inteligentny transformator”. Opisano w nim cechy poszczegó...
BADANIA WPŁYWU KONFIGURACJI UZWOJENIA HTS NA ENERGIĘ I ROZKŁAD POLA MAGNETYCZNEGO NADPRZEWODNIKOWEGO ZASOBNIKA ENERGII
Artykuł poświęcony jest nadprzewodnikowemu zasobnikowi energii na przykładzie modelu fizycznego zasobnika zbudowanego w Pracowni Technologii Nadprzewodnikowych Instytutu Elektrotechniki. Rozważany problem dotyczy wyboru...
PORÓWNANIE ASPEKTÓW EKONOMICZNYCH I PRAKTYCZNYCH STOSOWANIA RÓŻNEGO TYPU ŹRÓDEŁ ŚWIATŁA
Różnorodność parametrów dostępnych obecnie źródeł światła, a przede wszystkim: zużycia energii, przewidywanego czasu pracy oraz ceny, może stanowić problem w procesie decyzyjnym dotyczącym wyboru konkretnego rodzaju elem...
COMPARISON OF SEGMENTATION QUALITY ASSESSMENT FUNCTIONS IN CONTEXT OF COLOR IMAGE OVER-SEGMENTATION REDUCTION METHOD
The paper concerns one problem in watershed transformation: over-segmentation. It compares segmentation quality assesment functions used to assess the quality of over-segmentation reduction in images first segmented by m...