Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах интегральных схем при воздействии механических напряжений
Journal Title: Збірник наукових праць фізико-математичного факультету ДДПУ - Year 2013, Vol 0, Issue 3
Abstract
В работе приведены зависимости напряжений в области действия сосредоточенной силы при трехопорном изгибе тонкой полупроводниковой пластины Ge . При выбранных размерах и условиях деформирования превышение напряжений в образце вблизи концентратора существенно на глубине до 25 мкм и от него вдольповерхности на расстоянии < 1.2 мм. Полученное методом структурного анализа распределение дефектов в приповерхностном слое качественно согласуется с результатами электрических измерений времени жизни τ неосновных носителей заряда. Использованный зондовый метод измерения τ может быть рекомендован для контроля степени дефектности на малых фрагментах интегральных схем.
Authors and Affiliations
В. А. Надточий, А. И. Уколов, И. Л. Щербина, Р. И. Иванов
Keywords
Related Articles
- EP ID EP265642
- DOI -
- Views 83
- Downloads 0
Алгоритми побудови опуклої оболонки
Було розглянуто алгоритми пошуку опуклої оболонки для множини точок на площині. На них спирається рішення великої кількості складних, зокрема олімпіадних, задач, тому їх розуміння та використання на практиці є дуже важли...
САГАЙДАКИ ГОРЕНШТЕЙНОВИХ (0; 1)-ПОРЯДКIВ
Тема даної роботи вiдноситься до структурної теорiї кiлець. Розглядаються горенштейновi напiвмаксимальнi (0; 1)-кiльця. Побудовано сагайдаки кiлець H_3(Θ) i B_6(Θ).
ВИКОРИСТАННЯ ГЕНЕТИЧНИХ АЛГОРИТМIВ ДЛЯ РОЗВ’ЯЗАННЯ ЗАДАЧI КОМIВОЯЖЕРА
Пошук розв’язання задач, в яких точним розв’язком може бути тiльки повний перебор, викликає великi труднощi, коли кiлькiсть вхiдних даних досить великий. А тому, iнколи дуже корисними бувають наближенi методи, до яких i...
Наближення операторами спеціального вигляду на класах неперервних функцій, визначених на дійсній осі
В даній роботі знайдено асимптотичні рівності для точних верхніх меж відхилень операторів спеціального вигляду на класах неперервних функцій, визначених на дійсній осі (і не обов'язково періодичних).
Асимптотичні формули для відхилень подвійних операторів Фейєра
Отриманi асимптотичнi формули для верхнiх граней вiдхилень подвiйних операторiв Фейєра на класах перiодичних функцiй.