Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах интегральных схем при воздействии механических напряжений
Journal Title: Збірник наукових праць фізико-математичного факультету ДДПУ - Year 2013, Vol 0, Issue 3
Abstract
В работе приведены зависимости напряжений в области действия сосредоточенной силы при трехопорном изгибе тонкой полупроводниковой пластины Ge . При выбранных размерах и условиях деформирования превышение напряжений в образце вблизи концентратора существенно на глубине до 25 мкм и от него вдольповерхности на расстоянии < 1.2 мм. Полученное методом структурного анализа распределение дефектов в приповерхностном слое качественно согласуется с результатами электрических измерений времени жизни τ неосновных носителей заряда. Использованный зондовый метод измерения τ может быть рекомендован для контроля степени дефектности на малых фрагментах интегральных схем.
Authors and Affiliations
В. А. Надточий, А. И. Уколов, И. Л. Щербина, Р. И. Иванов
Keywords
Related Articles
- EP ID EP265642
- DOI -
- Views 84
- Downloads 0
ПРО ПЕРIОДИЧНI РОЗВ’ЯЗКИ I ПРО МЕТОД МАЛОГО ПАРАМЕТРА ДЛЯ СИНГУЛЯРНО ЗБУРЕНИХ ДИФЕРЕНЦIАЛЬНИХ РIВНЯНЬ
Розглядаються питання про iснування, побудову i про аналiтичну структуру перiодичних розв’язкiв систем звичайних диференцiальних рiвнянь з малим параметром ε при старшiй похiднiй. В некритичному випадку розглядаються спо...
АЛГОРИТМ РАСПОЗНАВАНИЯ ГРАФА ТРЕМЯ АГЕНТАМИ
Рассматривается проблема распознавания конечных неориентированных графов тремя агентами. Получен алгоритм распознавания, временная и емкостная сложности которого равны O (n^2). При работе два агента, передвигающиеся по г...
Ігрові технологій на уроках фізики
Встановлено, що гра є своєрідним поштовхом для творчого пошуку нових навчальних технологій, що забезпечують інтенсифікацію учбового процесу.
Тестова перевірка знань учнів під час вивчення математики
Стаття присвячена проблемi тестової перевiрки знань учнiв пiд час вивчення математики, пошуку шляхiв вдосконалення даного методу перевiрки знань i складанню методичних ре- комендацiй щодо покращення ефективностi перевiрк...
Використання можливостей PowerPoіnt в навчальному процесі
The article is devoted to the issues of preparing future teachers for the use of informational technologies in their professional activities. An example of the creative use of PowerPoint proposed for the teacher’s activi...