Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах интегральных схем при воздействии механических напряжений
Journal Title: Збірник наукових праць фізико-математичного факультету ДДПУ - Year 2013, Vol 0, Issue 3
Abstract
В работе приведены зависимости напряжений в области действия сосредоточенной силы при трехопорном изгибе тонкой полупроводниковой пластины Ge . При выбранных размерах и условиях деформирования превышение напряжений в образце вблизи концентратора существенно на глубине до 25 мкм и от него вдольповерхности на расстоянии < 1.2 мм. Полученное методом структурного анализа распределение дефектов в приповерхностном слое качественно согласуется с результатами электрических измерений времени жизни τ неосновных носителей заряда. Использованный зондовый метод измерения τ может быть рекомендован для контроля степени дефектности на малых фрагментах интегральных схем.
Authors and Affiliations
В. А. Надточий, А. И. Уколов, И. Л. Щербина, Р. И. Иванов
Keywords
Related Articles
- EP ID EP265642
- DOI -
- Views 85
- Downloads 0
Формування вмінь розробляти системи навчальних задач
У статтi проаналiзовано можливостi формування у студентiв математичних спецiальностей педагогiчного унiверситету iнтегрованого умiння конструювати системи навчальних задач.
Формування експериментальних умінь учнів при вивченні фізики у базовій школі
Результатом роботи є проведене дослідництво, яке дозволяє нам створити методичні матеріали, які допоможуть починаючому фахівцю організувати таку важливу та вкрай необхідну роботу по формуванню експериментальних вмінь.
Cвойства наноструктур, сформированных на поверхности диффузионным массопереносом
В работе показана возможность создания наноструктур на поверхности Ge в темпера- турном интервале 300 − 400 К, свойства которых изучены методами оптической, атомно- силовой микроскопии (АСМ) и рамановской спектроскопии к...
Алгоритм Форда-Фалкерсона
В роботi наведено реалiзацiю методу Форда-Фалкерсона для знаходження максимального потоку у транспортнiй мережi засобами мови програмування Pascal. Для реалiзацiї методу Форда-Фалкерсона використовується метод обходу гра...
ТЕХНОЛОГIЯ ТРВЗ – ШЛЯХ ДО ТВОРЧОГО РОЗВИТКУ ДIТЕЙ НА УРОКАХ МАТЕМАТИКИ
Дана стаття присвячена питанню використання технологiї розвязування винахiдницьких задач на уроках математики 7-9 класiв.