Исследование распределения дефектов в полупроводниковых пластинах интегральных схем при воздействии механических напряжений
Journal Title: Збірник наукових праць фізико-математичного факультету ДДПУ - Year 2013, Vol 0, Issue 3
Abstract
В работе приведены зависимости напряжений в области действия сосредоточенной силы при трехопорном изгибе тонкой полупроводниковой пластины Ge . При выбранных размерах и условиях деформирования превышение напряжений в образце вблизи концентратора существенно на глубине до 25 мкм и от него вдольповерхности на расстоянии < 1.2 мм. Полученное методом структурного анализа распределение дефектов в приповерхностном слое качественно согласуется с результатами электрических измерений времени жизни τ неосновных носителей заряда. Использованный зондовый метод измерения τ может быть рекомендован для контроля степени дефектности на малых фрагментах интегральных схем.
Authors and Affiliations
В. А. Надточий, А. И. Уколов, И. Л. Щербина, Р. И. Иванов
Keywords
Related Articles
- EP ID EP265642
- DOI -
- Views 81
- Downloads 0
ФОРМУВАННЯ ПРОСТОРОВИХ УЯВЛЕНЬ В ПРОЦЕСI ВИВЧЕННЯ СТЕРЕОМЕТРIЇ
Стаття присвячена проблемi формування просторових уявлень на уроках стереометрiї, як невiд’ємної складової для розширення уяви взагалi та для вiльного формування узагальнених та динамiчних уявлень про оточуючий свiт, емо...
Розвиток цифрової компетентності майбутнього вчителя інформатики
The article deals with the pedagogical problem of preparing teachers of computer science for work in the conditions of introduction of digital technologies into human life. The necessity of mastering digital competence i...
ПРО ДЕЯКI ЗАСТОСУВАННЯ КIЛ НУЛЬОВОГО РАДIУСУ
Дана стаття присвячена дослiдженню граничних випадкiв при застосуваннi пучкiв кiл (зокрема кiл нульового радiусу) та їх властивостей до розв’язування задач на побудову кiл з додатковими умовами. Також дослiджується питан...
ВИКОРИСТАННЯ НЕСТАНДАРТНИХ ЗАДАЧ В УЧБОВОМУ ПРОЦЕСI
Розглянутi питання пiдвищення мотивацiї навчання, активiзацiї розумової дiї, творчого мислення учнiв шляхом використання нестандартних задач в учбовому процесi. Наведено ряд методичних рекомендацiй, якi допоможуть учням...
Шляхи удосконалення знань першокурсників з шкільного курсу фізики
Встановлено, що впровадження тестування в учбовий процес має позитивні наслідки і може бути використано поряд з традиційними формами навчання.