МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ВИРТУАЛЬНОГО МОНИТОРИНГА РАДИАЛЬНОЙ НЕРАВНОМЕРНОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ В РАСПЛАВЕ И СЛИТКЕ КРЕМНИЯ НА ПРИМЕРЕ ФОСФОРА
Journal Title: Радиоэлектроника и информатика - Year 2016, Vol 1, Issue 1
Abstract
Усовершенствуется математическая модель для вирту- ального мониторинга радиальной и осевой неравномер- ности распределения примеси в расплаве и слитке крем- ния. В результате апробации модели путем сравнения расчетных и экспериментальных данных получено хоро- шее согласование между измеренной эксперименталь- ным методом и рассчитанной радиальной концентраци- ей легирующей примеси в слитках кремния.
Authors and Affiliations
Ирина Оксанич, Алексей Притчин, Артур Касаткын
Keywords
Related Articles
- EP ID EP581858
- DOI -
- Views 81
- Downloads 0
Підхід до розв’язання нестаціонарних задач математичної фізики з нелокальними умовами
Розглядається застосування проекційного методу Бубнова-Гальоркіна до початково-крайової задачі для нестаціонарного рівняння теплопровідності з нелока-льною умовою. Для таких задач важливим є питання про вибір координатни...
Optimum Sum Codes, that Effectively Detect the Errors of Low Multiplicities
The article provides the method of formation of the sum code with minimum total number of undetectable errors. The code, suggested by authors, has the same number of check bits, as a classic Berger code, but also has a b...
АЛГОРИТМ УНИФИКАЦИИ В МЕТОДЕ РЕЗОЛЮЦИЙ ДЛЯ ЛОГИКИ ПРЕДИКАТОВ
Рассматривается проблема повышения эффективно- сти интеллектуальных систем, использующих в каче- стве механизма логического вывода метод резолюций для исчисления предикатов первого порядка. Показы- вается, что метод резо...
МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ ДЛЯ ВИРТУАЛЬНОГО МОНИТОРИНГА РАДИАЛЬНОЙ НЕРАВНОМЕРНОСТИ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ПРИМЕСИ В РАСПЛАВЕ И СЛИТКЕ КРЕМНИЯ НА ПРИМЕРЕ ФОСФОРА
Усовершенствуется математическая модель для вирту- ального мониторинга радиальной и осевой неравномер- ности распределения примеси в расплаве и слитке крем- ния. В результате апробации модели путем сравнения расчетных и...
Методологическая база построения алгоритмов контроля битовой скорости видеопотока с обеспечением требуемых характеристик качества
Рассматриваются принципы построения управляющих алгоритмов для контроля битовой скорости видеопотока. Показывается эффективность подходов, основанных на трехмерном представлении трансформант кадра, позволяющих осуществля...