Measurement accuracy analysis for microgeometry nanostandards with microinterferometer and stylus profilometer
Journal Title: Bulletin of the Military University of Technology - Year 2018, Vol 67, Issue 4
Abstract
The goal of the work, described in this paper, was to examine and analyse measurement capabilities of GUM Length and Angle Department in measurements of step height/depth standards with the values below 1 μm (nanostandards), with 2D, and 3D surface characteristics. Measurements were performed with microinterforometer and stylus profilometer. Keywords: nanometrology, depth/height standards, microinterferometry, contact profilometry.<br/><br/>
Authors and Affiliations
Łukasz Ślusarski
Keywords
Related Articles
- EP ID EP435116
- DOI 10.5604/01.3001.0012.8503
- Views 80
- Downloads 0
Badanie wpływu skali eksperymentu na wyniki testu cylindrycznego
W pracy zbadano wpływ skali eksperymentu na wyniki testu cylindrycznego służącegodo wyznaczania zdolności miotających materiałów wybuchowych. Do badań wytypowano materiaływybuchowe stosowane w amunicji (trotyl, heksogen)...
Reliability-operational analysis of fixed gas fire extinguishing equipment integrated with fire signalling systems
Fire protection of server rooms and data processing centres, located in public buildings, uses fire extinguishing equipment known as fixed gas fire extinguishing devices (SUG-G). The extinguishing medium (gas in tanks) s...
Optymalizacja portfela projektów non-profit: wybrane aspekty i założenia
W artykule przedstawione zostały wybrane aspekty i założenia autorskiej propozycji modelu optymalizacji portfela projektów non-profit. Scharakteryzowano model funkcjonalny sektora non-profit, będący jednocześnie podstawą...
Zastosowanie struktur przestrzennych emiterów metalicznych do wytwarzania gradientowych promienników podczerwieni
Badania porównawcze kamer termowizyjnych, służących do obserwacji sceny termalnej, sprowadzają się zwykle do obserwacji wzorcowych różnic temperatury lub wzorcowego kontrastu termicznego. Standardowe badania wykonuje się...
Zbiorowe środki ochrony przed skażeniami
W niniejszej pracy przedstawiono ogólne zasady użycia oraz klasyfikację zbiorowych środków ochrony przed skażeniami. Sprecyzowano zalecenia funkcjonalne i eksploatacyjne dla środków ochrony zbiorowej oraz opisano system...