Measurement accuracy analysis for microgeometry nanostandards with microinterferometer and stylus profilometer
Journal Title: Bulletin of the Military University of Technology - Year 2018, Vol 67, Issue 4
Abstract
The goal of the work, described in this paper, was to examine and analyse measurement capabilities of GUM Length and Angle Department in measurements of step height/depth standards with the values below 1 μm (nanostandards), with 2D, and 3D surface characteristics. Measurements were performed with microinterforometer and stylus profilometer. Keywords: nanometrology, depth/height standards, microinterferometry, contact profilometry.<br/><br/>
Authors and Affiliations
Łukasz Ślusarski
Keywords
Related Articles
- EP ID EP435116
- DOI 10.5604/01.3001.0012.8503
- Views 63
- Downloads 0
Miscibility studies of 2-3-difluoro-4-pentylterphenyl-4-yl carbonate with ferroelectric compounds
Three chiral compounds, containing three aromatic rings in a rigid core, forming ferroelectric phase were doped with non chiral difluorosubstituted terphenyl carbonate compound. The influence of the structure and the amo...
Analiza wpływu losowego rozkładu luzów montażowych na ugięcia i nośność belek składanych
Artykuł obejmuje analizę wpływu losowego rozkładu luzów montażowych o różnych wielkościach na ugięcia i nośność belki składanej opartej na podporach stałych. Analiza ta zawiera siedem wariantów losowego występowania posz...
Wizualizacja obszarów górskich z zastosowaniem druku 3D
Opracowania dwuwymiarowe przedstawiające ukształtowanie terenu (np. w postaci mapy) nie oddają w całości charakteru obrazowanego obszaru. Przedsięwzięcia związane z planowaniem czy projektowaniem zdecydowanie korzystniej...
Modelling of damping forces occuring in simple MEMS systems
A certain damping force occurs in the micro-mechanical systems referred as MEMS. At the design stage of such systems, these forces must be accurately estimated. As shown in this work, in all systems operating at low freq...
Ocena wpływu warstw piezoelektrycznych oraz warunków brzegowych na zachowanie hybrydowych płyt kompozytowych o różnych układach warstw
W niniejszej pracy badano sześciowarstwowe hybrydowe płyty kompozytowe wykonane z laminatu czterowarstwowego oraz z dwóch okładzin z materiału wykazującego efekt piezoelektryczny. Rozważono różne układy warstw oraz różne...