Abstract

Разработан метод формирования ионных потоков, суть которого заключается в комбинировании различных распределений ионного потока, получаемых при воздействии на плазму магнитного поля. Выделяются две основные схемы – подложка является электродом в цепи генерации плазмы, т.е. является частью источника; и подложка взаимодействует с внешним источником плазмы и не является электродом в цепи генерации плазмы. В первом случае предложено использовать магнитное поле арочной конфигурации для управления шириной распределения путем изменения радиуса кривизны силовых линий магнитного поля в области поддержания разряда. Для второго случая рационально формирование ионных потоков с помощью магнитных ловушек, которые создаются на пути следования потока плазмы с помощью магнитных полей с конфигурацией пробкотрона.

Authors and Affiliations