ПРОЦЕСС ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА В МНОГОСТЕРЖНЕВЫХ РЕАКТОРАХ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ – НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАДИЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

Journal Title: Сучасні проблеми металургії - Year 2014, Vol 1, Issue 17

Abstract

Выполнен анализ параметров управления процессом водородного восстановления трихлорсилана в «Siemens-Реакторе». Предложен новый подход к решению задачи управления процессом с оптимизацией по критерию «скорость осаждения кремния». Предложен способ определения управляемого параметра, устраняющий увеличение абсолютной ошибки измерения по мере ведения процесса.

Authors and Affiliations

Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов

Keywords

Related Articles

ИССЛЕДОВАНИЕ ВЛИЯНИЯ ЭЛЕКТРОМАГНИТНОЙ ОБРАБОТКИ УГЛЕЙ РАЗНОЙ СТАДИИ МЕТАМОРФИЗМА НА ИХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

В статье рассмотрено влияние электромагнитной энергии на угли разной стадии метаморфизма. Проведены испытания по электромагнитной обработке углей разной стадии метаморфизма с дальнейшим исследованием изменения их техноло...

Влияние структуры литой меди и бронз на значение их коэффициента термического линейного расширения

В настоящей работе исследованы медь технической чистоты по ГОСТ 859-2001, безоловянные по ГОСТ 18175-78, ГОСТ 493-79 и оловянная бронзы по ГОСТ 613-79. Установлено, что при охлаждении в литейной форме температура переход...

ПРИЗНАЧЕННЯ РАЦІОНАЛЬНОГО ПРОЦЕСУ ВИГОТОВЛЕННЯ ТА ВИБІР ЕФЕКТИВНОГО МАТЕРІАЛУ ВІЗКОВОГО ЛИТВА ВАНТАЖНОГО ВАГОНУ

запропоновані для виготовлення бокової рами візку вантажного вагону методом лиття за роз’ємними моделями – основна 20ГЛ та альтернативні 20Г1ФЛ, 30ГСЛ марки сталі, які відрізняються вмістом легуючих компонентів, завдяки...

О ВОЗМОЖНЫХ ПУТЯХ РАЗВИТИЯ ФЕРРОСПЛАВНОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ ВО ВЗАИМОСВЯЗИ С ВИДОИЗМЕНЕНИЯМИ В ПРОИЗВОДСТВЕ СТАЛИ

Проведен анализ современного состояния ферросплавной промышленности в мире. Приведены статистические данные производства основных видов ферросплавов на фоне данных мирового производства стали последних лет вплоть до 2015...

ОСВІТА ЯК СИНЕРГЕТИЧНИЙ ІНСТРУМЕНТ МОДЕРНІЗАЦІЇ ЕКОНОМІКИ В УМОВАХ ГЛОБАЛІЗАЦІЇ

Розкривається значення освіти в успішному розв’язанні соціально-економічних проблем. Підкреслюється, що в освітній сфері має домінувати відтворювальний підхід. Особлива увага приділена обґрунтуванню необхідності модерніз...

Download PDF file
  • EP ID EP558921
  • DOI -
  • Views 115
  • Downloads 0

How To Cite

Л. Я. Шварцман, Э. А. Троценко, Е. В. Баженов, В. Н. Додонов (2014). ПРОЦЕСС ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА В МНОГОСТЕРЖНЕВЫХ РЕАКТОРАХ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ – НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАДИЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ. Сучасні проблеми металургії, 1(17), 84-92. https://europub.co.uk/articles/-A-558921