REAKTYWNE IMPULSOWE ROZPYLANIE TYTANU – WPŁYW PARAMETRÓW PROCESU NA REZYSTYWNOŚĆ I WŁAŚCIWOŚCI OPTYCZNE
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2013, Vol 60, Issue 261
Abstract
Cienkie warstwy azotku i tlenku tytanu osadzane były z procesie impulsowego reaktywnego rozpylania magnetronowego. Przeanalizowano wpływ ciśnienia cząstkowego gazów reaktywnych na właściwości tych materiałów. Kontrola procesu oparta była na śledzeniu zmian parametru zasilacza – mocy krążącej. Zaprezentowana technologia umożliwia dowolne modyfikowanie składu chemicznego, od warstw z nadmiarową zawartością tytanu, przez składy stechiometryczne, po nad-stechiometryczne, co jest powodem obserwowanych zmian w mierzonych charakterystykach związków tytanu. Zbadano elektryczne i optyczne właściwości warstw, a następnie oceniono je pod względem możliwych zastosowań. Dzięki specjalnemu źródłu zasilania i kontroli procesu, możliwe było nanoszenie materiałów o niskiej rezystywności, bez dodatkowego podgrzewania podłoża i z wysoką szybkością osadzania. Zaprezentowana technologia może zostać wykorzystana do pokrywania podłoży nieodpornych na wysokie temperatury.<br/><br/>
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak
Keywords
Related Articles
- EP ID EP68372
- DOI -
- Views 116
- Downloads 1
ANALIZA ODDZIAŁYWANIA STOPNIA ZAWILGOCENIA ORAZ TEMPERATURY NA PARAMETRY SCHEMATU ZASTĘPCZEGO IZOLACJI PAPIEROWO-OLEJOWEJ WYZNACZONEGO W OPARCIU O MODEL COLA-COLA
Transformatory dużej mocy należą do najważniejszej grupy urządzeń układów sieci elektroenergetycznych, których stan izolacji papierowo-olejowej transformatora w bardzo dużym stopniu decyduje o ich prawidłowej pracy. Pomi...
THE LINEARIZATION OF DYNAMICS OF THE WIENER-HAMMMERSTEIN MODEL AND SIMPLIFICATION OF NONLINEAR MODELS OF MEASURING SYSTEMS FOR SLOWLY-ALTERING SIGNALS
The simplified models of linear systems created by expanding of the integrand of convolution integral in Taylor's series are relatively accurate for slowly-altering, smooth input signals. Using this models one can do suc...
WYBRANE SPOSOBY MINIMALIZACJI ŁĄCZENIOWYCH STRAT ENERGII W WYSOKONAPIĘCIOWYCH TRANZYSTORACH MOSFET PRACUJĄCYCH Z TWARDĄ KOMUTACJĄ
W artykule przedstawiono wybrane sposoby ograniczania łączeniowych strat energii w tranzystorach MOSFET pracujących z twardą komutacją. Głównym źródłem strat energii w tym procesie jest ładunek wsteczny diod zwrotnych k...
LI-ION BATTERY CHARGER POWERED FROM PV MODULES FOR ELECTRICAL VEHICLES
This paper presents a description of the lithium-ion battery charger powered by photovoltaic modules for electric vehicles. Working principles of the charger, its control algorithm and experimental results are presented.
THE USE OF GUTKOV'S CORRECTION ELEMENT IN A CONTROL SYSTEM
The Gutkov's corrector is described by the transfer function: Kkor(s) = K0 + K1exp(-stn) +…+ Kn(-stn). The choice of its parameters is aimed at shortening of transient states in the corrected system (plant). The primary...