Усовершенствование метода создания контактов с барьером шоттки к пористым полупроводникам
Journal Title: Радиоэлектроника и информатика - Year 2018, Vol 3, Issue 3
Abstract
Установливается, что качество контактов определяется, главным образом, характером распределения химических элементов в приконтактной области, а также временем и температурой отжига контактной структуры. Данный метод позволяет получить контакты с удельным сопротивлением ρк ≈ 1,1·10-4 Ом·см2 при температуре отжига 350 0 С и времени отжига 30 мин. Предложенный метод позволяет уменьшить коэффициент неидеальности контакта с барьером Шоттки с 1,7 до 1,2.
Authors and Affiliations
А. П. Оксанич, С. Э. ПРИТЧИН, М. Г. Когдась, А. Г. ХОЛОД, М. А. Мащенко
Keywords
Related Articles
- EP ID EP584708
- DOI 10.30837/1563-0064.3.2018.162777
- Views 72
- Downloads 0
Дедуктивный анализ и диагностирование логических X-функций
Предлагается структурная модель взаимодействия X-функций и производных компонентов, ориентированных на синтез и анализ цифровых систем в целях уменьшения времени проектирования и тестирования вычислительных устройств. Вв...
МЕТОД ШТРАФНЫХ ФУНКЦИЙ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ОПТИМИЗАЦИИ НА ПОЛИЭДРАЛЬНО- СФЕРИЧЕСКИХ КОМБИНАТОРНЫХ МНОЖЕСТВАХ
Предлагается новый подход к решению задач оптимиза- ции на вписанных в сферу евклидовых комбинаторных множествах, основанный на применении функциональ- ных представлений дискретных множеств и выпуклых продолжений с них в...
Secure Multipath Routing Algorithm with Optimal Balancing Message Fragments in MANET
Abstract—This paper is devoted to the proposition of the algorithm of secure multipath routing with optimal balancing message fragments number in MANET. The work considered the concept of the threshold secret sharing sch...
Метод сегментування багатомасштабної послідовності зображень, що отримані з бортових систем оптико-електронного спостереження
Пропонується при сегментуванні оптико-електронних зображень попередньо проводити їх багатомасштабне перетворення. Як ядро перетворення обрано гаусіан з відповідним значенням масштабного коефіцієнта. Як метод сегментуванн...
QUANTUM-DRIVEN АРХІТЕКТУРИ ДЛЯ ПАРАЛЕЛЬНОГО ПРОЕКТУВАННЯ ЦИФРОВИХ СИСТЕМ
Пропонується аналіз існуючих публікацій в області створення моделей, методів, алгоритмів і архітектур квантового комп'ютинга для тестування і моделювання цифрових систем з метою створення теорії і практики кван...