Усовершенствование метода создания контактов с барьером шоттки к пористым полупроводникам
Journal Title: Радиоэлектроника и информатика - Year 2018, Vol 3, Issue 3
Abstract
Установливается, что качество контактов определяется, главным образом, характером распределения химических элементов в приконтактной области, а также временем и температурой отжига контактной структуры. Данный метод позволяет получить контакты с удельным сопротивлением ρк ≈ 1,1·10-4 Ом·см2 при температуре отжига 350 0 С и времени отжига 30 мин. Предложенный метод позволяет уменьшить коэффициент неидеальности контакта с барьером Шоттки с 1,7 до 1,2.
Authors and Affiliations
А. П. Оксанич, С. Э. ПРИТЧИН, М. Г. Когдась, А. Г. ХОЛОД, М. А. Мащенко
Keywords
Related Articles
- EP ID EP584708
- DOI 10.30837/1563-0064.3.2018.162777
- Views 96
- Downloads 0
Автоматизированное проектирование систем логического управления с использованием шаблонов автоматного программирования
Предлагается использовать шаблоны автоматного программирования для проектирования устройств логического управления на основе конечных автоматов. При проектировании конечного автомата на технологической платформе ПЛИС FPG...
Ієрархічний класифікатор автоматизованих систем прикордонного відомства
Формулюється та доводиться теорема безпеки для взаємодіючих систем, що дозволить раціоналізувати обсяг робіт із забезпечення нормативного рівня захисту. Крім того, наводиться класифікація автоматизованих систем з урахува...
ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЫШЕНИЯ БЕЗОПАСНОСТИ ИНФОРМАЦИОННЫХ РЕСУРСОВ НА ОСНОВЕ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ ФУНКЦИОНАЛЬНОГО ПРЕОБРАЗОВАНИЯ ПРИ КОСВЕННОМ СТЕГАНОГРАФИЧЕСКОМ ВСТРАИВАНИИ
Рассматривается возможность повышения безопаснос- ти информационных ресурсов на основе использования методов компьютерной стеганографии. Проводится срав- нительный анализ методов непосредственного и косвен- ного стеганог...
РОЗРОБКА ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ЛІНІЙНОЇ ОПТИМІЗАЦІЙНОЇ МОДЕЛІ ШВИДКОЇ ПЕРЕМАРШРУТИЗАЦІЇ З БАЛАНСУВАННЯМ НАВАНТАЖЕННЯ В ТЕЛЕКОМУНІКАЦІЙНИХ МЕРЕЖАХ
Пропонується оптимізаційна модель швидкої перемаршрути- зації з балансуванням навантаження в телекомунікаційних мережах, новизна якої полягає в тому, що оптимізаційну зада- чу балансування навантаження в ході швидкої пер...
Метод визначення раціональної послідовності модернізації елементів інформаційної системи
Аналізується структура інформаційних потоків в інтегрованій інформаційній системі прикордонного відомства та формується їх узагальнена структура. Основою методу раціоналізації процесу модернізації елементів інформаційної...