Усовершенствование метода создания контактов с барьером шоттки к пористым полупроводникам
Journal Title: Радиоэлектроника и информатика - Year 2018, Vol 3, Issue 3
Abstract
Установливается, что качество контактов определяется, главным образом, характером распределения химических элементов в приконтактной области, а также временем и температурой отжига контактной структуры. Данный метод позволяет получить контакты с удельным сопротивлением ρк ≈ 1,1·10-4 Ом·см2 при температуре отжига 350 0 С и времени отжига 30 мин. Предложенный метод позволяет уменьшить коэффициент неидеальности контакта с барьером Шоттки с 1,7 до 1,2.
Authors and Affiliations
А. П. Оксанич, С. Э. ПРИТЧИН, М. Г. Когдась, А. Г. ХОЛОД, М. А. Мащенко
Keywords
Related Articles
- EP ID EP584708
- DOI 10.30837/1563-0064.3.2018.162777
- Views 94
- Downloads 0
ИССЛЕДОВАНИЕ КАЧЕСТВА СБОРКИ ПРИЛОЖЕНИЙ ПОД ОПЕРАЦИОННУЮ СИСТЕМУ ANDROID РАЗЛИЧНЫМИ КОМПИЛЯТОРАМИ
Оценивается качество сборки приложения тремя компи- ляторами: Android Development Tools, Android Studio 2 и Visual Studio 2015. В качестве критериев выбираются бы- стродействие и размер полученных приложений. Для чи- сто...
Big Data: проблемы, методы анализа, алгоритмы
Проводится обзор развития, характеристики и приме-нения технологий Big Data, показывается взаимосвязь технологии Big Data с промышленными предприяти-ями на примере металлургического производства. Описываются принципы обр...
ОБ ОПТИМАЛЬНОМ УПРАВЛЕНИИ ПЕРЕХОДНЫМИ ПРОЦЕССАМИ В ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ЦЕПЯХ
Изучается задача оптимального управления переходны- ми процессами в электрических цепях с сосредоточенны- ми линейными элементами. Качество управления харак- теризует квадратичный функционал энергии, зависящий от парамет...
Модели и методы мониторинга и управления транспортом
Предлагаются основные направления устойчивого развития киберфизического транспортного компьютинга, связанные со средствами телекоммуникаций, точного позиционирования, online е-картографии, дифференциальной навигации, Int...
ПРОГНОЗИРОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ВНОСИМЫХ ИСКАЖЕНИЙ ПРИ СЖАТИИ ИЗОБРАЖЕНИЙ С ПОТЕРЯМИ
Анализируется зависимость среднеквадратической ошибки (СКОш) искажений, вносимых при сжатии изображений с потерями от шага квантования для современного кодера на основе дискретного косинусного преобразования (ДКП) и схем...