Усовершенствование метода создания контактов с барьером шоттки к пористым полупроводникам
Journal Title: Радиоэлектроника и информатика - Year 2018, Vol 3, Issue 3
Abstract
Установливается, что качество контактов определяется, главным образом, характером распределения химических элементов в приконтактной области, а также временем и температурой отжига контактной структуры. Данный метод позволяет получить контакты с удельным сопротивлением ρк ≈ 1,1·10-4 Ом·см2 при температуре отжига 350 0 С и времени отжига 30 мин. Предложенный метод позволяет уменьшить коэффициент неидеальности контакта с барьером Шоттки с 1,7 до 1,2.
Authors and Affiliations
А. П. Оксанич, С. Э. ПРИТЧИН, М. Г. Когдась, А. Г. ХОЛОД, М. А. Мащенко
Keywords
Related Articles
- EP ID EP584708
- DOI 10.30837/1563-0064.3.2018.162777
- Views 93
- Downloads 0
Технологии цифрового мониторинга и облачного управления киберфизическими социальными процессами
Показывается развитие моделей, методов, алгоритмов и программных средств создания цифровых систем управления наукой и образованием в университете за последние годы. Определяются узкие места и преимущества наиболее интере...
ФОРМАЛИЗАЦИЯ НЕЯВНОГО ПРОЦЕДУРНОГО ЗНАНИЯ
Рассматриваются особенности неявного процедурного знания. Предлагается модель такого знания, содержащая явную составляющую в форме последовательностей дей- ствий и неявную составляющую в форме неформализован- ных отношен...
Метод формування двокомпонентного коду для компактного представлення фрагмента зображення у телекомунікаційних системах
Показується, що існуючі системи, які проводять аерокосмічний моніторинг з використанням бортових засобів телекомунікації, не задовольняють вимоги стосовно своєчасної доставки інформації. Обґрунтовується, що технології ст...
Метод повышения доступности видеопотока для информационных технологий закрытия информации
Разрабатывается метод селекции значимых структурных единиц видеокадра, обеспечивающий снижение пропускной способности закрытого видеоканала.
МЕТОД ШТРАФНЫХ ФУНКЦИЙ ДЛЯ РЕШЕНИЯ ЗАДАЧ ОПТИМИЗАЦИИ НА ПОЛИЭДРАЛЬНО- СФЕРИЧЕСКИХ КОМБИНАТОРНЫХ МНОЖЕСТВАХ
Предлагается новый подход к решению задач оптимиза- ции на вписанных в сферу евклидовых комбинаторных множествах, основанный на применении функциональ- ных представлений дискретных множеств и выпуклых продолжений с них в...