Усовершенствование метода создания контактов с барьером шоттки к пористым полупроводникам
Journal Title: Радиоэлектроника и информатика - Year 2018, Vol 3, Issue 3
Abstract
Установливается, что качество контактов определяется, главным образом, характером распределения химических элементов в приконтактной области, а также временем и температурой отжига контактной структуры. Данный метод позволяет получить контакты с удельным сопротивлением ρк ≈ 1,1·10-4 Ом·см2 при температуре отжига 350 0 С и времени отжига 30 мин. Предложенный метод позволяет уменьшить коэффициент неидеальности контакта с барьером Шоттки с 1,7 до 1,2.
Authors and Affiliations
А. П. Оксанич, С. Э. ПРИТЧИН, М. Г. Когдась, А. Г. ХОЛОД, М. А. Мащенко
Keywords
Related Articles
- EP ID EP584708
- DOI 10.30837/1563-0064.3.2018.162777
- Views 89
- Downloads 0
Conductivity of Multi-Component Electron Gas
The 2D semimetal consisting of heavy holes and light electrons is studied. The consideration is based on the assumption that electrons are quantized by magnetic field while holes remain classical. We assume also that the...
Analyzing the Ways of Matching Dynamic Features of Video Stream to Information and Communication Networks
The work deals with the current problem of delivering video data with controlled loss of quality in information networks. Means of controlling the bit rate of video streams are studied. The development of structural and...
Оптимизация системы охлаждения молибденовой подложки установки газоплазменного напыления
Рассматриваются условия реализации стационарного теплового режима подложки путем задания параметров системы охлаждения в установке газоплазменного напыления алмазного покрытия. Такие условия формулируются в виде оптимиза...
Синтез кубитных покрытий для цифровых систем
Описываются квантовые компьютеры, которые могут решать проблемы, трудно разрешимые даже для са-мых мощных современных суперкомпьютеров. Они имеют потенциал для решения проблем в области материаловедения, химии и математи...
Аналіз інфраструктури host-switch-host-virtualbox засобами мови python3
Розглядається будова інформаційної інфраструктури для створення мережі моніторингу та контролю за станом технології IoT, які традиційно використовують в мережах з низькою швидкістю, низькою потужністю і короткими пакетам...