ВИМІРЮВАННЯ ЗАРЯДОВОГО СТАНУ НА МЕЖІ SI-SIO2 ЗА ДОПОМОГОЮ ІМПЕДАНСНОЇ CV-ХАРАКТЕРИСТИКИ
Journal Title: Вимірювальна техніка та метрологія - Year 2007, Vol 1, Issue 68
Abstract
In this article, properties of the nonequilibrium impulse CV-characteristics of MOS (MIS) structures are measured by response to a trapezoidal voltage pulse with edge times shorter than the recharge-time constants of the interface and semiconductor (Si) bulk electron states and analysed. It is shown how such nonequilibrium CV-characteristics can be used for electrophysical testing of reliability of LSI-circuit structures at the formation stage.
Authors and Affiliations
Володимир Бережанський, Степан Новосядлий
Keywords
Related Articles
- EP ID EP203812
- DOI -
- Views 53
- Downloads 0
САМООСВІТНЯ ДІЯЛЬНІСТЬ – ЕФЕКТИВНИЙ ЧИННИК ПРОФЕСІЙНОЇ ПІДГОТОВКИ МАЙБУТНІХ ОРГАНІЗАТОРІВ ДІЛОВОДСТВА У ВНЗ І-ІІ РІВНІВ АКРЕДИТАЦІЇ
The analysis of problem of self-educational activity of future organizers of office work is carried out in higher educational establishments of І-ІІ of levels of accreditation, essence of concept «self-educational activi...
ДЕЯКІ СПОСОБИ ОБЧИСЛЕННЯ СИНГУЛЯРНИХ ІНТЕГРАЛІВ ТИПУ КОШІ, НЕОБХІДНИХ ДЛЯ ДІАГНОСТИКИ СТРУМОПРОВІДНИХ МАТЕРІАЛІВ
The paper deals with a effective methods of calculation of singular Cauchy type integrals. The first method consists in the use of standard numeral methods for the calculation of these integrals with the round of feature...
Проектування нейроконтролерів для керування нелінійними об’єктами другого порядку
Some issues concerning the neural networks application in automatic control of non-linear objects are presented in this paper. Several teaching sequences configuration creation, and their efficiency, i.e. the reaction ti...
ДОСЛІДЖЕННЯ ВПЛИВУ ЄМНОСТІ ПОДВІЙНОГО ШАРУ НА ІНФОРМАТИВНІ ПАРАМЕТРИ ІМІТАНСНИХ СЕНСОРІВ
The influence of double layer capacitance on the active and reactive components of immitance as informative parameters of the primary transducer (sensor) means of measuring control of properties of non-electric nature o...
НОВІ НОРМАТИВНІ ВИМОГИ СТОСОВНО ЯКОСТІ ЕЛЕКТРОЕНЕРГІЇ ДЛЯ ЖИВЛЕННЯ ЕЛЕКТРОННОГО ТА ЕЛЕКТРОТЕХНІЧНОГО УСТАТКУВАННЯ
The analysis of the problems of research and quality control of electricity supply to customers in the networks. Delivered the main tasks are to identify the causes of deterioration of power quality and location of the p...