ВИМІРЮВАННЯ ЗАРЯДОВОГО СТАНУ НА МЕЖІ SI-SIO2 ЗА ДОПОМОГОЮ ІМПЕДАНСНОЇ CV-ХАРАКТЕРИСТИКИ
Journal Title: Вимірювальна техніка та метрологія - Year 2007, Vol 1, Issue 68
Abstract
In this article, properties of the nonequilibrium impulse CV-characteristics of MOS (MIS) structures are measured by response to a trapezoidal voltage pulse with edge times shorter than the recharge-time constants of the interface and semiconductor (Si) bulk electron states and analysed. It is shown how such nonequilibrium CV-characteristics can be used for electrophysical testing of reliability of LSI-circuit structures at the formation stage.
Authors and Affiliations
Володимир Бережанський, Степан Новосядлий
Keywords
Related Articles
- EP ID EP203812
- DOI -
- Views 62
- Downloads 0
ДОСЛІДЖЕННЯ ДІЕЛЕКТРИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ РЕЧОВИН У ДІАПАЗОНІ РАДІОЧАСТОТ
At the frequency range up to 100 MHz the real dielectric with permittivity e and conductivity λ simulated by twoterminal element of the electric circuit with complex impedance Z ~ or complex conductivity L ~ , in which i...
ЕНЕРГОЕФЕКТИВНИЙ ГАЛЬВАНОМАГНІТНИЙ СЕНСОРНИЙ ПРИСТРІЙ З ВИСОКОЮ ЕЛЕКТРОМАГНІТНОЮ ЗАВАДОСТІЙКІСТЮ
The work gives the results of developing an energy-efficient galvanomagnetic sensor device with high electromagnetic noise-immunity and investigation into its parameters. Energy-efficiency is provided by the pulse measur...
МЕТРОЛОГІЧНА НАДІЙНІСТЬ ЗАСОБІВ ВИМІРЮВАЛЬНОЇ ТЕХНІКИ
It has been proposed conceivable, expotencial, discreet and continuous model for definition of metrological accuracy of measurement technology means, which allows to mount optimal recalibration and between overhaul inter...
ЗАСТОСУВАННЯ ПОВОРОТУ КООРДИНАТ ДЛЯ ПОБУДОВИ НЕЛІНІЙНОЇ РЕГРЕСІЇ З УРАХУВАННЯМ НЕПЕВНОСТІ ОБОХ ВЕЛИЧИН
In the paper the new method of constructing the nonlinear regression based on rotation of coordinates is proposed and analyzed. In proposed method the uncertainties of both (input and output) quantities are considered. T...
АНАЛІЗ МЕТОДІВ ВИМІРЮВАННЯ ТЕПЛОТВОРНОЇ ЗДАТНОСТІ ПРИРОДНОГО ГАЗУ
The methods of natural gas specific calorific value (calorific power) measurements which are valid in the up-to-date gasometry are considered. The methodology of evaluation of precision of natural gas specific calorific...