ПРОЦЕСС ВОДОРОДНОГО ВОССТАНОВЛЕНИЯ ТРИХЛОРСИЛАНА В МНОГОСТЕРЖНЕВЫХ РЕАКТОРАХ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ – НОВЫЕ ВОЗМОЖНОСТИ УПРАВЛЕНИЯ ДЛЯ ТРАДИЦИОННЫХ ТЕХНОЛОГИЙ

Journal title: Сучасні проблеми металургії

Authors: Л.Я. Шварцман, Э.А. Троценко, Е.В. Баженов, В.Н. Додонов

Subject(s):