МІКРОЕЛЕКТРОМЕХАНІЧНІ СИСТЕМИ В СУЧАСНОМУ ПРИЛАДОБУДУВАННІ
Journal Title: Вимірювальна техніка та метрологія - Year 2008, Vol 1, Issue 69
Abstract
The state of the microsystem technology as perspective direction of science and technique development is analyzed; description of the microelectromechanical systems basic parts and description of structural features and industries of their application are given. The design and production problems of the microsystem devices are discussed too.
Authors and Affiliations
Юрій Гірняк
Keywords
Related Articles
- EP ID EP192640
- DOI -
- Views 68
- Downloads 0
Нові гідробіологічні показники якості для питної води, як харчового продукту номер один
In the article the analysis of modern standards of safe descriptions of drinking-water is done in Ukrain, and in the economic developed countries. On the base of literary review the new hydrobiological indexes of quality...
ВІРТУАЛЬНА МІРА ВОДООЧИЩЕННЯ ТА ОЦІНКА РИЗИКІВ ВИНИКНЕННЯ НАДЗВИЧАЙНИХ СИТУАЦІЙ
In significant volumes of hazardous industrial discharges, inefficiencies and long-term measurements, in terms of environmental safety, are unacceptable – especially in the context of the potential impact of emergency si...
АНАЛІЗ ЗМІНИ ТЕРМОЕЛЕКТРОРУШІЙНОЇ СИЛИ ТЕРМОЕЛЕКТРОДІВ ВНАСЛІДОК ЇХ ВІДНОСНОЇ ДЕФОРМАЦІЇ
In order to reduce the uncertainty of the result obtained during the measurement of high temperatures by thermoelectric transducers in the adverse conditions of operation, particulary in case of rapid thermal changes, th...
Дослідження термометричного матеріалу HfNi1-xRhxSn
The electron energy state, magnetic and transport characteristics of thermometric materials HfNi1-xRhxSn were investigated in the T80¸400 K temperature range and at charge carriers concentration from Rh 9,5 1019 A N ×...
Прогнозування та реалізація термоелементів на основі термометричного матеріалу Zr1-xErxNiSn
The temperature and concentration dependencies of resistivity, thermopower and also power descriptions of Zr1-xErxNiSn semiconductor in ranges, T = 80 ¸ 380 K and x = 0 ¸ 0,50, respectively were investigated.