SPEKTROSKOPIA EMISYJNA PLAZMY ZASILANEJ IMPULSOWO W TRAKCIE MAGNETRONOWEGO ROZPYLANIA STOPU Zn i Bi
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2012, Vol 59, Issue 259
Abstract
Za pomocą spektroskopii optycznej określono korelacje pomiędzy technologicznymi parametrami procesu rozpylania – moc wydzielona na materiale rozpylanym, odległość target – podłoże, ciśnienie gazu roboczego, a składem chemicznym magnetronowej plazmy zasilanej impulsowo. W badaniach zastosowano metaliczny stop 0,90Zn-0,10Bi, o średnicy 50 mm. Target rozpylano w atmosferze argonu (Ar), tlenu (O2) oraz w atmosferze będącej mieszaną tych gazów. W mieszaninie ciśnie-nie parcjalne tlenu zmieniano w zakresie 0 < pO2 / p(O2 + Ar) < 1. Optyczne widma emisyjne zmierzono w zakresie długości fal od 200-800 nm. Stwierdzono, że dla różnych warunków pracy magnetronu widma emisyjne różnią się od standardowych. Wykazano, iż wartość intensywności Ibi oraz IZn wzrasta wraz ze wzrostem mocy dostarczanej do materiału rozpylanego i maleje w funkcji odległości od niego. Intensywności są również funkcją ciśnienia parcjalnego tlenu. Zmieniając stosunek IZn/IBi można w sposób kontrolowany otrzymywać warstwy o zadanym składzie chemicznym, co jest bardzo istotnym elementem z technologicznego punktu widzenia.
Authors and Affiliations
Jan ZIAJA, Mariusz OZIMEK
Keywords
Related Articles
- EP ID EP187594
- DOI -
- Views 121
- Downloads 0
NANOCOMPOSITES DEPOSITED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING AND THEIR APPLICTAIONS
Nanocomposite thin films are more and more popular in various industries, from electronics, mechanics (wear resistant films) to photovoltaics, because of their unusual properties. In this paper, the possibility of deposi...
THE LOSSES AND EFFICIENCY DETERMINATION FOR THREE-PHASE, SQUIRREL-CAGE INDUCTION MOTORS – NEW REQUIREMENTS OF STANDARDS
The paper presents losses and efficiency determination method in squirrel-cage induction motors according to the Polish Standard PN-EN 60034-2-1:2008. The requirements of measuring instruments accuracy, testing procedure...
RESEARCH STUDIES ON THE EFFICIENCY OF WIND TURBINE GENERATORS
The primary objective of the research studies was to determine the impact of the air density changes on the calculation results of indicators characterizing the efficiency of a wind power plant. The equipment used for me...
WSTĘPNE BADANIA WAHAŃ PRĘDKOŚCI OBROTOWEJ SILNIKA INDUKCYJNEGO ZASILANEGO NAPIĘCIEM ZAWIERAJĄCYM SUBHARMONICZNE
Artykuł dotyczy wpływu subharmonicznych napięcia na wahania prędkości obrotowej silnika indukcyjnego klatkowego małej mocy. Badania wykonano metodą symulacyjną z wykorzystaniem wstępnego dwuwymiarowego modelu polowego si...
THE ANALYSIS OF THE RESONANT LCL CIRCUIT OPERATION UNDER A DISCONTINUOUS INPUT CURRENT CONDITION
The article is focused on the analysis of the LCL resonant circuit, which operates under a discontinuous input current condition. This condition leads to the LCL topology variability phenomenon that drastically changes I...