SPEKTROSKOPIA EMISYJNA PLAZMY ZASILANEJ IMPULSOWO W TRAKCIE MAGNETRONOWEGO ROZPYLANIA STOPU Zn i Bi
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2012, Vol 59, Issue 259
Abstract
Za pomocą spektroskopii optycznej określono korelacje pomiędzy technologicznymi parametrami procesu rozpylania – moc wydzielona na materiale rozpylanym, odległość target – podłoże, ciśnienie gazu roboczego, a składem chemicznym magnetronowej plazmy zasilanej impulsowo. W badaniach zastosowano metaliczny stop 0,90Zn-0,10Bi, o średnicy 50 mm. Target rozpylano w atmosferze argonu (Ar), tlenu (O2) oraz w atmosferze będącej mieszaną tych gazów. W mieszaninie ciśnie-nie parcjalne tlenu zmieniano w zakresie 0 < pO2 / p(O2 + Ar) < 1. Optyczne widma emisyjne zmierzono w zakresie długości fal od 200-800 nm. Stwierdzono, że dla różnych warunków pracy magnetronu widma emisyjne różnią się od standardowych. Wykazano, iż wartość intensywności Ibi oraz IZn wzrasta wraz ze wzrostem mocy dostarczanej do materiału rozpylanego i maleje w funkcji odległości od niego. Intensywności są również funkcją ciśnienia parcjalnego tlenu. Zmieniając stosunek IZn/IBi można w sposób kontrolowany otrzymywać warstwy o zadanym składzie chemicznym, co jest bardzo istotnym elementem z technologicznego punktu widzenia.
Authors and Affiliations
Jan ZIAJA, Mariusz OZIMEK
Keywords
Related Articles
- EP ID EP187594
- DOI -
- Views 113
- Downloads 0
ROZWIĄZANIE TECHNOLOGICZNE WYTWARZANIA PRZEPUSTOWEGO IZOLATORA TURBOGENERATOROWEGO
W artykule przedstawiono rozwiązanie konstrukcyjne i technologiczne wykonania izolatora przepustowego do turbogeneratora elektroenergetycznego średniego napięcia. Rozwiązanie konstrukcyjne wykonano w oparciu o epoksydowy...
WYKORZYSTANIE METODY LIBS DO BADAŃ PORÓWNAWCZYCH ZABYTKÓW AUTORSTWA MARTINA SCHNELLA
Muzeum Pałacu Króla Jana III w Wilanowie jest opiekunem kolekcji zabytków dekorowanych chinoiserie przez znakomitego saskiego artystę Martina Schnella. Obecnie najcenniejsze zachowane w zbiorach wilanowskich dzieła Marti...
THE APPLICATION OF LED LAMPS AS ILLUMINATORS FOR SELECTED PLANT SEEDLINGS
The article analyzes the applicability of semiconductor light sources (LED) for illumination of selected plant seedlings. Few chosen problems of supplementary artificial light illumination of greenhouse spices including...
INFLUENCE OF SUPPLEMENTARY LIGHTING WITH HIGH PRESSURE SODIUM AND LED LAMPS ON GROWTH AND SELECTED PHYSIOLOGICAL PARAMETERS OF TOMATO TRANSPLANTS
The objective of the study was to evaluate the physiological response and growth of tomato transplants grown under different light treatment. During cultivation period (November – December), the transplants received supp...
THE LOSSES AND EFFICIENCY DETERMINATION FOR THREE-PHASE, SQUIRREL-CAGE INDUCTION MOTORS – NEW REQUIREMENTS OF STANDARDS
The paper presents losses and efficiency determination method in squirrel-cage induction motors according to the Polish Standard PN-EN 60034-2-1:2008. The requirements of measuring instruments accuracy, testing procedure...