WYDAJNE OSADZANIE CIENKICH WARSTW ZWIĄZKÓW CHEMICZNYCH – MODELOWANIE PROCESU REAKTYWNEGO ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2013, Vol 60, Issue 263
Abstract
Osadzanie cienkich warstw związków metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego sprawia wiele trudności, spośród których głównymi są niestabilność procesu i spadek szybkości osadzania. Komputerowe symulacje wykonano wykorzystując założenia modelu Berga. W pierwszej kolejności sprawdzono wpływ podstawowych parametrów procesu na osadzanie tlenku glinu. Porównano również teoretyczne charakterystyki osadzania Al[sub]2[/sub]O[sub]3[/sub], AlN, TiO[sub]2[/sub], TiN. Następnie określono parametry umożliwiające wydajne osadzanie tlenku tytanu. Symulacje potwierdzono wynikami prac eksperymentalnych. Głównym celem pracy była próba określenia mechanizmów umożliwiających osadzanie w modzie metalicznym tlenków o właściwościach zbliżonych do warstw o składzie stechiometrycznym. <br/><br/>
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak, Jarosław Paprocki
Keywords
Related Articles
- EP ID EP68428
- DOI -
- Views 79
- Downloads 0
ASSESMENT OF THERMAL ENDURANCE OF NANOFILLED POLYESTERIMIDE VARNISH
The initial results of long-term thermal ageing of nanofilled polyesterimide varnish contained 1.5% fumed nanosilica are presented. The criteria of varnish thermal degradation according UL, i.e. the bond strength level a...
PROJEKTOWANIE LINII KABLOWYCH NISKIEGO NAPIĘCIA WYKONANYCH Z ŻYŁ UKŁADANYCH RÓWNOLEGLE
W układach zasilania niskiego napięcia kiedy zachodzi konieczności wyprowadzenia dużej mocy, powszechnie praktykowanym sposobem wykonania instalacji elektrycznej jest stosowanie wielowiązkowych linii kablowych złożonych...
NANOCOMPOSITES DEPOSITED BY REACTIVE MAGNETRON SPUTTERING AND THEIR APPLICTAIONS
Nanocomposite thin films are more and more popular in various industries, from electronics, mechanics (wear resistant films) to photovoltaics, because of their unusual properties. In this paper, the possibility of deposi...
EWOLUCJE SYSTEMU REJESTRACJI I MONITORINGU PRĄDÓW BŁĄDZĄCYCH W METRZE WARSZAWSKIM
W artykule przedstawiono zarys prac związanych z oddziaływaniem trakcji elektrycznej prądu stałego i przyjętego systemu ochrony podziemnej konstrukcji metra w Warszawie przed prądami błądzącymi. Podano różnice jakie wyst...
ANALIZA WŁAŚCIWOŚCI CIENKICH WARSTW TiO2 DO APLIKACJI W ELASTYCZNYCH PRZYRZĄDACH FOTOWOLTAICZNYCH I OPTOELEKTRONICZNYCH
Artykuł jest opisem analizy nowej metody nakładania cienkich warstw dwutlenku tytanu pod kątem jej aplikacji w ogniwach słonecznych z uwzględnieniem elastycznych struktur fotowoltaicznych. Uzyskane warstwy zostały poddan...