WYDAJNE OSADZANIE CIENKICH WARSTW ZWIĄZKÓW CHEMICZNYCH – MODELOWANIE PROCESU REAKTYWNEGO ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2013, Vol 60, Issue 263
Abstract
Osadzanie cienkich warstw związków metodą reaktywnego rozpylania magnetronowego sprawia wiele trudności, spośród których głównymi są niestabilność procesu i spadek szybkości osadzania. Komputerowe symulacje wykonano wykorzystując założenia modelu Berga. W pierwszej kolejności sprawdzono wpływ podstawowych parametrów procesu na osadzanie tlenku glinu. Porównano również teoretyczne charakterystyki osadzania Al[sub]2[/sub]O[sub]3[/sub], AlN, TiO[sub]2[/sub], TiN. Następnie określono parametry umożliwiające wydajne osadzanie tlenku tytanu. Symulacje potwierdzono wynikami prac eksperymentalnych. Głównym celem pracy była próba określenia mechanizmów umożliwiających osadzanie w modzie metalicznym tlenków o właściwościach zbliżonych do warstw o składzie stechiometrycznym. <br/><br/>
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak, Jarosław Paprocki
Keywords
Related Articles
- EP ID EP68428
- DOI -
- Views 84
- Downloads 0
STEROWANIE PREDYKCYJNE Z OPTYMALNĄ SEKWENCJĄ ŁĄCZEŃ FALOWNIKA TRÓJPOZIOMOWEGO ZASILAJĄCEGO NAPĘD Z SILNIKIEM INDUKCYJNYM KLATKOWYM
W artykule przedstawiono nowatorski system predykcyjnego sterowania z modelem (ang. Model Predictive Control – MPC) bez-czujnikowym napędem z silnikiem klatkowym zasilanym z falownika trójpoziomowego pracującego w szerok...
CORLESS INDUCTIVE SUPERCONDUCTING FAULT CURRENT LIMITERS
The electrodynamic forces occurring during the course of a fault current may damage the devices of the electric power system within tens of milliseconds. Every such failure of an electric power network entails expensive...
ANALIZA WIDM SPEKTROSKOPII EMISYJNEJ ZA POMOCĄ WIELOWYMIAROWYCH METOD STATYSTYCZNYCH
W pracy przedstawiono przykłady zastosowania wielowymiarowych metod statystycznych w badaniach widm spektroskopii emisyjnej. Krótko scharakteryzowano najistotniejsze właściwości dwóch metod, takich jak Analiza Czynnikowa...
FREQUENCY DIELECTRIC RESPONSE PATTERNS OF ESTER-IMPREGNATED CELLULOSE INSULATION OF VARIOUS MOISTURE CONTENT
Most of the transformers are built based on mineral oil–paper insulation system. The few disadvantages of mineral oil may include flammability, explosiveness, and a slight toxicity. The alternative to mineral oil is synt...
CHARAKTERYSTYKI EKSPLOATACYJNE WYSOKOOBROTOWYCH SILNIKÓW INDUKCYJNYCH MAŁEJ MOCY
W pracy przedstawiono charakterystyki eksploatacyjne silników indukcyjnych małej mocy, o rdzeniach wykonanych z różnych gatunków blachy elektrotechnicznej, pracujących przy zasilaniu z sieci i z przemiennika częstotliwoś...