Extension of the one-dimensional Stoney algorithm to a two-dimensional case
Journal Title: Zeszyty Naukowe Warszawskiej Wyższej Szkoły Informatyki - Year 2019, Vol 13, Issue 20
Abstract
This article presents the extension of the one-dimensional Stoney algorithm to a two-dimensional case. The proposed extension consists in modifying the method of curvature estimation. The surface profile of the wafer before deposition of the thin film and after its deposition was locally approximated by the quadric. From this quadric, a quadratic form and the first degree surface were separated. An eigenproblem was solved for the matrix of this quadratic form. From eigenvectors a new coordinate system was created in which a new formula of the quadric was found. In this new coordinate system, the two-dimensional problem of estimating the curvature tensor has been solved by solving two independent one-dimensional problems of curvature estimation. Returning to the primary coordinate system, in this primary system, a solution to the two-dimensional problem was obtained. The article proposes five versions of the two-dimensional Stoney algorithm, with diverse complexity and accuracy. The recommendation for the version of the algorithm that could be practically used was also presented.
Authors and Affiliations
Zenon Gniazdowski
Keywords
Related Articles
- EP ID EP613781
- DOI 10.26348/znwwsi.20.41
- Views 98
- Downloads 0
Behavioral modeling of stressed MOSFET
In this paper piezoconductivity phenomenon in MOSFET channel is discussed and extension of drain current model with possibility of stress consideration is proposed. Analysis of obtained model combined with examination of...
Algorytmy konstrukcyjne dla problemu harmonogramowania projektu z ograniczonymi zasobami
W artykule opisany jest problem harmonogramowania projektu z ograniczoną dostępnością zasobami z kryterium minimalizacji czasu trwania projektu. Do rozwiązania zagadnienia opracowane są algorytmy konstrukcyjne, które mog...
Systemy ekspertowe w e-zdrowiu: studium przypadku diagnostyki grypy
Systemy ekspertowe, które stanowią jedną z dziedzin sztucznej inteligencji, wykorzystywane są w rozwiązywaniu problemów oraz wspomagają użytkownika w procesie podejmowania decyzji poprzez podpowiadanie możliwych rozwiąza...
Automatyczna aktualizacja oprogramowania w urządzeniach embedded
W artykule zaprezentowano implementację systemu automatycznej aktualizacji danych w urządzeniach embedded z mikrokontrolerem jednoukładowym. Przeanalizowano mechanizmy i protokoły stosowane w istniejących rozwiązaniach p...
A Knowledge Representation Framework Based on Epistemic Logic
We introduce a uniform non-monotonic framework for knowledge representation based on epistemic logic which is sufficiently general to encompass several nonmonotonic formalisms, including circumscription, autoepistemic lo...