NANOKOMPOZYTY OSADZANE METODĄ ROZPYLANIA MAGNETRONOWEGO I ICH ZASTOSOWANIA
Journal Title: Proceedings of Electrotechnical Institute Prace Instytutu Elektrotechniki - Year 2012, Vol 59, Issue 259
Abstract
Cienkie warstwy nanokompozytów ze względu na ciekawe właściwości znajdują coraz szersze zastosowanie w najróżniejszych gałęziach przemysłu, od elektroniki, przez mechanikę (warstwy odporne na ścieranie) po fotowoltaikę. W pracy zostały przed-stawione możliwości wykorzystania technologii reaktywnego osadzania magnetronowego do nanoszenia warstw kompozytów o rozmiarach charakterystycznych 10 – 300 nm (jest to rozmiar ziarna lub pojedynczej warstwy). Zmierzone zostały właściwości kompozytów – mieszanin tlenków i azotków z metalami (Al2O3-Al, AlN-Al, TiO2-Ti, TiN-Ti). Badania przeprowadzono z użyciem niezbalansowanego magnetronu WMK-50. Korzystano w nich z targetów tytanowych i glinowych o średnicy 50 mm, które rozpylano w obecności mieszaniny gazu roboczego – argonu i gazu reaktywnego – tlenu lub azotu. W badaniach wykorzystywano metaliczny mod pracy magnetronu, nie dopuszczano do zatrucia powierzchni targetu związkiem. Umożliwiało to osadzanie warstw związków i wtrąceń metalicznych bez konieczności długotrwałego oczyszczania powierzchni rozpylanej. Właściwości elektryczne i optyczne tych warstw zostały porównane z czystymi tlenkami i azotkami bez wtrąceń metalicznych, a następnie wstępnie scharakteryzowane pod kątem możliwych zastosowań.
Authors and Affiliations
Katarzyna Tadaszak
Keywords
Related Articles
- EP ID EP187698
- DOI -
- Views 58
- Downloads 0
WPŁYW KSZTAŁTU NAPIĘCIA ZASILANIA NA PARAMETRY ŚWIETLNE I ELEKTRYCZNE NISKOCIŚNIENIOWYCH RTĘCIOWYCH LAMP WYŁADOWCZYCH
Niskociśnieniowe rtęciowe lampy wyładowcze są podstawowym źródłem światła w oświetleniu przemysłowym. W ostatnich latach coraz powszechniejsze staje się stosowanie elektronicznych układów stabilizacyjno-zapłonowych zamia...
VOICE CONTROL OF ELECTROHYDRAULIC MANIPULATOR
Automatic speech recognition systems have more and more applications in field of mechatronics and robotics. They have become an essential element of intelligent human-machine interfaces. They also allow users to communic...
THE APPLICATION EXTENDING THE CAPABILITIES OF THE HUMAN-ROBOT INTERACTION OF THE HUMANOID ROBOT NAO
In this work of an interdisciplinary character, the potential implementation of the humanoid robot NAO in regards of research on the lateralization phenomenon was presented. Some assumptions regarding the system for ther...
ANALIZA PRACY SILNIKA SYNCHRONICZNEGO O WZBUDZENIU ELEKTROMAGNETYCZNYM SZEREGOWYM
W artykule przedstawiono zasadę działania silnika synchronicznego o wzbudzeniu elektromagnetycznym i o szeregowym połączeniu uzwojenia wzbudzenia z uzwojeniami twornika. Jest ona analogiczna do zasady działania silnika s...
BADANIA STARZENIOWE MATERIAŁÓW BARIEROWYCH
W pracy przedstawiono wyniki badań wpływu temperatury i wilgotności na rezystancję powierzchniową materiałów barierowych. Materiały te są kompozytami złożonymi z podłoża polipropylenowego w postaci włókniny z naniesionym...