ФУНКЦІОНАЛЬНА СТІЙКІСТЬ СИСТЕМИ КЕРУВАННЯ ГЕНЕРАТОРОМ ПЛАЗМИ З СЕКЦІОНОВАНИМИ КАТОДНИМИ ВУЗЛАМИ В РЕЖИМІ ІОННО-ПЛАЗМОВОГО НАНЕСЕННЯ БАГАТОКОМПОНЕНТНИХ НАНОСТУКТУРОВАНИХ МАТЕРІАЛІВ

Journal title: Science Review

Authors: Сергій Миколайович Фірсов, Сергій Борисович Кочук, Марія Володимирівна Бреславець, Юлія Валентинівна...

Subject(s):

Article processing charges

Type

License

Index