ТЕХНОЛОГІЯ І ВЛАСТИВОСТІ НИЗЬКО-РОЗМІРНИХ КОМПОЗИТНИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ ПОРИСТОГО КРЕМНІЮ З ОКИСДНИМИ ПЛІВКАМИ TiO2
Journal Title: ЕЛЕМЕНТИ, ПРИЛАДИ ТА СИСТЕМИ В ЕЛЕКТРОНІЦІ - Year 2017, Vol 1, Issue
Abstract
Проведено дослідження низько-розмірних композитних структур на основі пористого кремнію з оксидними плівками TiO2, одержання яких є перспективним для використання у якості підзатворного діелектрика в КМОН технології. Досліджено і встановлено основні параметри плівок TiO2. Побудовано енергетичну діаграма за допомогою методу польових циклів у системі електроліт-діелектрик-напівпровідник. Шляхом екстраполяції лінійної ділянки залежності (αhv)2 = f(hv) до перетину з віссю енергії визначено оптичну ширину забороненої зони тонкої плівки ТіО2 (Eg = 3,6еВ).
Authors and Affiliations
С. Л. Хрипко
Keywords
Related Articles
- EP ID EP539105
- DOI -
- Views 183
- Downloads 0
ПОЛУЧЕНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ СВОЙСТВ ПОРИСТОГО Ge
германий является полупроводником, электрохимия которого изучена наиболее полно. Представления, развитые на основе исследований электрохимических свойств германия, являются основой электрохимии полупроводников и использу...
ТЕХНОЛОГІЯ І ВЛАСТИВОСТІ НИЗЬКО-РОЗМІРНИХ КОМПОЗИТНИХ СТРУКТУР НА ОСНОВІ ПОРИСТОГО КРЕМНІЮ З ОКИСДНИМИ ПЛІВКАМИ TiO2
Проведено дослідження низько-розмірних композитних структур на основі пористого кремнію з оксидними плівками TiO2, одержання яких є перспективним для використання у якості підзатворного діелектрика в КМОН технології. Дос...
ПОБУДОВА МЕТОДИКИ СИНТЕЗУ ТА ДОСЛІДЖЕННЯ ІНТЕГРОВАНОГО ДАТЧИКА ПОТУЖНОСТІ ВИПРОМІНЮВАНЬ
Запропоновано трьохрівневу методику синтезу та дослідження інтегрованих адаптивних датчиків на основі біполярного транзистора з польовим керуванням (БТПК). Побудована система адаптивного регулювання чутливості розроблени...
ОЦІНЮВАННЯ ВМІСТУ І ПОВЕДІНКИ ОПТИЧНО НЕАКТИВНИХ АТОМІВ КИСНЮ У СКЛАДІ ДОМІШКОВО-ДЕФЕКТНИХ КОМПЛЕКСІВ ПРИ ВИРОЩУВАННІ МОНОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ ЗА МЕТОДОМ ЧОХРАЛЬСЬКОГО
Розроблено методику оцінювання концентрації кисню, що неконтрольовано входить до складу різноманітних комплексів та мікродефектів в монокристалах кремнію, вирощуваних за методом Чохральського,атоми якого випадають з твер...
ОСНОВНІ НАПРЯМКИ ПІДВИЩЕННЯ ЕФЕКТИВНОСТІ СОНЯЧНИХ ЕЛЕМЕНТІВ НА ОСНОВІ НЕВПОРЯДКОВАНОГО КРЕМНІЮ
-